[發(fā)明專利]傳感器故障預(yù)知系統(tǒng)、傳感器故障預(yù)知方法、物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010199432.5
• 申請(qǐng)日: 2020-03-20
• 公開（公告）號(hào): CN111721319B
• 公開（公告）日: 2023-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中山力
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01C25/00
• 分類號(hào): G01C25/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 鄧毅;黃綸偉

本發(fā)明提供傳感器故障預(yù)知系統(tǒng)、傳感器故障預(yù)知方法、物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體，事先檢測(cè)直至物理量傳感器發(fā)生故障為止的狀態(tài)。傳感器故障預(yù)知系統(tǒng)預(yù)知包含振動(dòng)元件片的物理量傳感器的故障，該振動(dòng)元件片根據(jù)驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，輸出基于物理量的檢測(cè)信號(hào)，該傳感器故障預(yù)知系統(tǒng)具有：存儲(chǔ)器，其存儲(chǔ)與驅(qū)動(dòng)信號(hào)或檢測(cè)信號(hào)的基準(zhǔn)值相關(guān)的基準(zhǔn)信息；以及處理器，其根據(jù)與驅(qū)動(dòng)信號(hào)或檢測(cè)信號(hào)的計(jì)測(cè)值相關(guān)的信號(hào)信息和基準(zhǔn)信息，輸出與直至物理量傳感器發(fā)生故障為止的階段性或連續(xù)性的狀態(tài)相關(guān)的預(yù)知信息。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及傳感器故障預(yù)知系統(tǒng)、傳感器故障預(yù)知方法、物理量傳感器、電子設(shè)備及移動(dòng)體。

背景技術(shù)

已知有判定振動(dòng)型的陀螺儀傳感器等物理量傳感器的故障的技術(shù)。例如，在專利文獻(xiàn)1所記載的技術(shù)中，根據(jù)角速度檢測(cè)裝置中的振子的泄漏信號(hào)來判定角速度檢測(cè)裝置的故障。更具體而言，監(jiān)視根據(jù)泄漏信號(hào)的振幅而變化的積分電路的輸出信號(hào)，在該輸出信號(hào)處于規(guī)定的范圍內(nèi)的情況下，輸出表示沒有異常的信號(hào)，另一方面，在該輸出信號(hào)處于規(guī)定的范圍外的情況下，輸出表示存在異常的信號(hào)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2000-171257號(hào)公報(bào)

在專利文獻(xiàn)1所記載的技術(shù)中，由于僅輸出沒有異常和有異常這兩種信號(hào)，因此存在無法事先檢測(cè)直至角速度檢測(cè)裝置發(fā)生故障為止的狀態(tài)的課題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個(gè)方式的傳感器故預(yù)知系統(tǒng)預(yù)知包含振動(dòng)元件片的物理量傳感器的故障，該振動(dòng)元件片根據(jù)驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，輸出基于物理量的檢測(cè)信號(hào)，其中，該傳感器故障預(yù)知系統(tǒng)具有：存儲(chǔ)器，其存儲(chǔ)與所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)或所述檢測(cè)信號(hào)的基準(zhǔn)值相關(guān)的基準(zhǔn)信息；以及處理器，其根據(jù)與所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)或所述檢測(cè)信號(hào)的計(jì)測(cè)值相關(guān)的信號(hào)信息和所述基準(zhǔn)信息，輸出與直至所述物理量傳感器發(fā)生故障為止的階段性或連續(xù)性的狀態(tài)相關(guān)的預(yù)知信息。

本發(fā)明的一個(gè)方式的傳感器故障預(yù)知方法如下：從包含振動(dòng)元件片的物理量傳感器取得與驅(qū)動(dòng)信號(hào)或檢測(cè)信號(hào)的計(jì)測(cè)值相關(guān)的信號(hào)信息，該振動(dòng)元件片根據(jù)所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，輸出基于物理量的所述檢測(cè)信號(hào)，根據(jù)所述信號(hào)信息和與所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)或所述檢測(cè)信號(hào)的基準(zhǔn)值相關(guān)的基準(zhǔn)信息，輸出與直至所述物理量傳感器發(fā)生故障為止的階段性或連續(xù)性的狀態(tài)相關(guān)的預(yù)知信息。

本發(fā)明的一個(gè)方式的物理量傳感器具有：振動(dòng)元件片，其根據(jù)驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，輸出基于物理量的檢測(cè)信號(hào)；存儲(chǔ)器，其存儲(chǔ)與所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)或所述檢測(cè)信號(hào)的基準(zhǔn)值相關(guān)的基準(zhǔn)信息；以及處理器，其根據(jù)與所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)或所述檢測(cè)信號(hào)的計(jì)測(cè)值相關(guān)的信號(hào)信息和所述基準(zhǔn)信息，輸出與直至物理量傳感器發(fā)生故障為止的階段性或連續(xù)性的狀態(tài)相關(guān)的預(yù)知信息。

附圖說明

圖1是示出實(shí)施方式的傳感器故障預(yù)知系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是示出實(shí)施方式的物理量傳感器的結(jié)構(gòu)例的剖視圖。

圖3是示出實(shí)施方式中的物理量傳感器所具有的電路元件的結(jié)構(gòu)的框圖。

圖4是示出物理量傳感器中的封裝內(nèi)的真空度與驅(qū)動(dòng)電壓的關(guān)系的曲線圖。

圖5是示出表示基準(zhǔn)信息與判定結(jié)果的關(guān)系的判定表的一例的圖。

圖6是示出表示基準(zhǔn)信息與判定結(jié)果的關(guān)系的判定表的另一例的圖。

圖7是示出實(shí)施方式的傳感器故障預(yù)知系統(tǒng)的動(dòng)作的流程的圖。

圖8是概略地示出作為電子設(shè)備的一例的移動(dòng)型或者筆記本型的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖9是概略地示出作為電子設(shè)備的一例的智能手機(jī)的結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖10是概略地示出作為電子設(shè)備的一例的數(shù)碼相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖11是概略地示出作為移動(dòng)體的一例的汽車的立體圖。

標(biāo)號(hào)說明