[發明專利]一種基于聲表面波和磁扭矩效應的磁傳感器及制備方法有效
| 申請號： | 202010198086.9 | 申請日： | 2020-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN111398872B | 公開（公告）日： | 2021-12-28 |
| 發明（設計）人： | 劉明;胡忠強;周子堯;王志廣;吳金根;程苗苗 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | G01R33/00 | 分類號： | G01R33/00;G01R33/038;G01R33/10 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 房鑫 |
| 地址： | 710049 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 表面波 扭矩 效應 傳感器 制備 方法 | ||
1.一種基于聲表面波和磁扭矩效應的磁傳感器，其特征在于，包括固定底座、聲表面波發生結構、懸臂梁結構和磁鐵；懸臂梁結構的一端設置在固定底座的頂部，磁鐵設置在懸臂梁結構的另一端；聲表面波發生結構設置在懸臂梁結構表面；
聲表面波發生結構包括叉指電極和壓電材料；壓電材料設置在懸臂梁結構表面，若干叉指電極設置在壓電材料上；
懸臂梁的材料是銅箔或不銹鋼箔中的一種；
壓電材料為壓電單晶或者壓電薄膜，壓電材料是LiNbO3、LiTaO3、ST-quar、PZT、ZnO或AlN中的一種。
2.根據權利要求1所述的一種基于聲表面波和磁扭矩效應的磁傳感器，其特征在于，聲表面波發生結構是單端口或者延遲線結構。
3.根據權利要求1所述的一種基于聲表面波和磁扭矩效應的磁傳感器，其特征在于，叉指電極是由電極薄膜和粘附層組成，電極薄膜位于粘附層上面；電極薄膜為Au、Al、Pt或Cu中的一種；粘附層為Ta或Cr中的一種。
4.根據權利要求1所述的一種基于聲表面波和磁扭矩效應的磁傳感器，其特征在于，磁鐵的數量由多塊組成；磁鐵的堆放是平行或者位于懸臂梁的上下表面；磁鐵是鐵氧體磁鐵、銣鐵硼磁鐵、鋁鎳鈷磁鐵、釤鈷磁鐵或金屬合金磁鐵中的一種。
5.一種基于聲表面波和磁扭矩效應的磁傳感器的制備方法，其特征在于，基于權利要求1至4任意一項所述的一種基于聲表面波和磁扭矩效應的磁傳感器，包括以下步驟：
1)壓電單晶或者壓電薄膜襯底的預處理：用乙醇、丙酮、分別依次清洗，烘干備用；
2)定義叉指電極圖案：在壓電材料上旋涂光刻膠，曝光，然后沉積電極粘附層和電極層，最后剝離獲得叉指電極圖案；
3)將聲表面波發生結構粘結在懸臂梁結構上，固化；
4)將磁鐵置于懸臂梁的自由端。
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