[發明專利]波長測量裝置和波長測量的方法

有效

• 申請號: 202010197614.9
• 申請日: 2020-03-19
• 公開（公告）號: CN113494967B
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發明（設計）人: 李裔;秦華強
• 申請（專利權）人: 華為技術有限公司
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 顏晶

1.一種波長測量裝置，其特征在于，所述波長測量裝置包括標準具(2)、轉動部件(3)、分光部件(4)、處理部件(7)和多個探測器(5)，所述處理部件(7)分別與所述轉動部件(3)和所述多個探測器(5)電性連接，其中：

所述分光部件(4)用于接收待測激光并將所述待測激光分束得到多個光束；

所述轉動部件(3)上安裝有反射鏡(6)，所述反射鏡(6)位于所述多個光束中的第一光束所在的光路上，所述標準具(2)位于所述反射鏡(6)的反射光路上，所述多個探測器(5)中的第一探測器(51)位于所述標準具(2)的透射光路上，所述多個探測器(5)中的第二探測器(52)位于所述多個光束中的第二光束所在的光路上；

所述轉動部件(3)，用于轉動所述反射鏡(6)以獲得所述標準具(2)在所述反射鏡(6)的多個轉角下的多個透射率曲線，其中所述轉角與所述透射率曲線一一對應；

所述轉動部件(3)，還用于轉動所述反射鏡(6)以使所述第一探測器(51)在所述反射鏡(6)的多個轉角下輸出多個光強值，其中所述轉角與所述第一探測器(51)輸出的光強值一一對應；

所述第二探測器(52)輸出的光強值、所述多個透射率曲線和所述第一探測器(51)輸出的多個光強值用于確定所述待測激光的波長值；

所述處理部件(7)用于根據多個標定激光在多個標定轉角中每個標定轉角下入射到所述標準具(2)中，得到所述每個標定轉角下的透射率曲線；

根據所述每個標定轉角下的透射率曲線，確定位于目標波長周期內的透射率峰值對應的標定波長值，其中所述標定轉角與所述標定波長值一一對應，所述目標波長周期為所述待測激光在透射率曲線中所屬的波長周期；

根據所述每個標定轉角和相對應的標定波長值，確定轉角與波長的對應關系；

根據所述待測激光在所述多個轉角中每個轉角下，所述第一探測器(51)輸出的光強值，確定所述待測激光的光強值與轉角的對應關系；

根據所述轉角與波長的對應關系，以及所述待測激光的光強值與轉角的對應關系，確定所述待測激光的光譜圖。

2.根據權利要求1所述的波長測量裝置，其特征在于，所述處理部件(7)，用于根據所述第二探測器(52)輸出的光強值，所述多個轉角中每個轉角下所述第一探測器(51)輸出的光強值，確定所述待測激光在所述每個轉角下通過所述標準具(2)的透射率，其中所述轉角與所述透射率一一對應；

在所述每個轉角下，確定所述轉角下的透射率在所述轉角下的透射率曲線上對應的且位于所述目標波長周期內的候選波長值；

在多個所述候選波長值中，將靠近透射率曲線的最大斜率處的候選波長值，作為所述待測激光的波長值。

3.根據權利要求1至2任一所述的波長測量裝置，其特征在于，所述波長測量裝置還包括濾波器(8)，所述濾波器(8)位于所述多個光束中的第三光束所在的光路上；

所述多個探測器(5)中的第三探測器(53)位于所述濾波器(8)的透射光路上，所述第三探測器(53)輸出的光強值用于和所述第二探測器(52)輸出的光強值，確定所述待測激光的預估波長值，以確定所述待測激光在透射率曲線中所屬的目標波長周期。

4.根據權利要求1至3任一所述的波長測量裝置，其特征在于，所述波長測量裝置還包括抗溫變基板(9)，所述標準具(2)、所述轉動部件(3)、所述分光部件(4)和所述多個探測器(5)均安裝在所述抗溫變基板(9)上。

5.根據權利要求1至4任一所述的波長測量裝置，其特征在于，所述波長測量裝置還包括熱敏電阻(10)，所述熱敏電阻(10)用于監測所述波長測量裝置內部的溫度。

6.根據權利要求1至5任一所述的波長測量裝置，其特征在于，所述波長測量裝置還包括準直器(12)，所述準直器(12)安裝在所述波長測量裝置的進光口位置處。

7.根據權利要求1至6任一所述的波長測量裝置，其特征在于，所述轉動部件(3)為微機電系統MEMS。