[發明專利]一種柔性外延單晶鐵氧體薄膜的制備方法在審
| 申請號： | 202010197207.8 | 申請日： | 2020-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN111270306A | 公開（公告）日： | 2020-06-12 |
| 發明（設計）人： | 劉明;周子堯;胡忠強;王志廣;姚謀騰 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | C30B23/02 | 分類號： | C30B23/02;C30B29/22;C30B29/26 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 房鑫 |
| 地址： | 710049 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 柔性 外延 鐵氧體 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種柔性外延單晶鐵氧體薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1，采用脈沖激光沉積技術在SrTiO3單晶基片上依次沉積Sr3Al2O6和Ni0.5Zn0.5Fe2O4外延單晶薄膜；
步驟2，在Ni0.5Zn0.5Fe2O4薄膜上貼附柔性PET襯底；
步驟3，然后將樣品放入去離子水中，當Sr3Al2O6與水完全反應后，Ni0.5Zn0.5Fe2O4從基片上成功地轉移至柔性PET襯底上。
2.根據權利要求1所述的一種柔性外延單晶鐵氧體薄膜的制備方法，其特征在于，步驟1中，脈沖激光的能量為1.4W～1.5W，頻率為3Hz～5Hz，Sr3Al2O6的沉積溫度為700℃～800℃，氧壓為10Pa～30Pa，靶基距為5cm～7cm，濺射時間為10min～20min。
3.根據權利要求1所述的一種柔性外延單晶鐵氧體薄膜的制備方法，其特征在于，步驟1中，Ni0.5Zn0.5Fe2O4沉積溫度為550℃～700℃，氧壓為5Pa～10Pa，靶基距為4.5cm～6cm，時間為30min～50min。
4.根據權利要求1所述的一種柔性外延單晶鐵氧體薄膜的制備方法，其特征在于，步驟1中，步驟2中，PET襯底的厚度為100um～200um。
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