[發(fā)明專利]真空波紋管熱閥

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010195798.5
• 申請日: 2020-03-19
• 公開（公告）號: CN111720621A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 飯島和夫
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社開滋SCT
• 主分類號: F16K49/00
• 分類號: F16K49/00;F16K1/32;F16K41/10;F16K51/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 樊濤;陳浩然

本申請的課題在于提供一種真空波紋管熱閥，其為簡潔且緊湊的構(gòu)成，且對于加熱手段的高溫化、高電壓化，不會損失耐久性、驅(qū)動性，而且還實現(xiàn)高精度的閥的調(diào)溫。在具有流入口和流出口的閥箱內(nèi)以升降移動自如的方式設(shè)有桿，在該桿的下端設(shè)置的閥體和桿的外周側(cè)以伸縮自如的方式設(shè)置波紋管，在該波紋管的內(nèi)周和桿的外周之間配置圓筒狀的陶瓷加熱器，并且在閥體的附近位置配置控制用熱電偶的測溫部。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空波紋管熱閥，特別涉及在高溫、高電壓(例如200V規(guī)格、耐電壓1500V)下耐久性、驅(qū)動性和耐電壓等電氣安全性也優(yōu)秀的真空波紋管熱閥。

背景技術(shù)

一直以來，在半導(dǎo)體制造裝置(成膜裝置、蝕刻裝置等)的真空排氣系統(tǒng)等中，在腔內(nèi)的用于化學(xué)工藝的高溫反應(yīng)氣體、沸點低的高溫流體等的情況下，如果不進行適當?shù)乇３譃楦邷貭顟B(tài)的排氣，那么隨著流體溫度的降低，副產(chǎn)品在流路內(nèi)析出、附著，特別是在設(shè)置在流路配管中途的開閉、調(diào)壓用的閥中，閥體的驅(qū)動、就位等正常的功能有受到損傷的風(fēng)險，因而在此種設(shè)于流路中途的閥中，使用通過設(shè)置適當?shù)募訜帷⒄{(diào)溫手段來將閥整體維持為適當?shù)母邷貭顟B(tài)的所謂熱閥。另外，驅(qū)動閥體的桿被用波紋管與流路密封劃分的所謂波紋管類型多用在此種熱閥中。

一直以來，作為此種真空波紋管熱閥，提出了專利文獻1～3。專利文獻1是CVD裝置的真空排氣閥，在波紋管內(nèi)，為了加熱閥體，與桿同心狀地布置螺旋狀的套管加熱器，并且在該套管加熱器的內(nèi)側(cè)也布線用于測定閥體溫度的螺旋狀的套管熱電偶，加熱器和熱電偶的各電線設(shè)置為雙重螺旋狀，通過能夠跟隨閥體的升降移動的該螺旋狀套管加熱器，至少分別加熱桿、閥體、波紋管。

在專利文獻2中，示出了在由硅橡膠構(gòu)成的絕緣材料的內(nèi)側(cè)均一地埋設(shè)加熱線而構(gòu)成的面狀加熱器，該面狀加熱器呈具有可撓性的片狀，以纏繞筒狀的加熱器套筒的外周的方式安裝以覆蓋加熱器套筒，在該加熱器套筒的內(nèi)部以能夠升降移動的方式同心狀地貫穿插入有桿。另外，加熱器套筒的凸緣部通過螺紋固定于主體上部的隔熱材料，面狀加熱器不可動地固定在波紋管內(nèi)部，并且能夠加熱桿、波紋管。而且，在面狀加熱器的大致中央位置，設(shè)有覆蓋熱電偶，該覆蓋熱電偶具有用于檢測溫度的測溫接點部。此外，作為面狀加熱器的其它例子，也提及了在由玻璃棉形成的絕緣材料中埋設(shè)加熱線的加熱器。

在專利文獻3中，作為用于將加熱器在不可動狀態(tài)下固定到波紋管內(nèi)部的部件，示出了鋁制部件，該鋁制部件包括固定于主體側(cè)的凸邊部、在內(nèi)部同心狀地以能夠升降移動的方式貫穿插入有桿的筒狀部，電阻發(fā)熱式的棒狀加熱器朝軸心方向插入該部件，以能夠?qū)⒃摬考鳛閭鳠狍w來對閥進行加熱的方式構(gòu)成。另外，在閥體也設(shè)有加熱器和溫度傳感器，用于使這些加熱器和溫度傳感器與閥外部的電源導(dǎo)通的電線作為一次導(dǎo)線束、同心狀地貫穿插入中空狀地形成的桿內(nèi)部，被導(dǎo)出到在桿上部設(shè)置的活塞上表面?zhèn)龋⑶以谠摶钊媳砻鎮(zhèn)龋鳛槁菪隣畹亩螌?dǎo)線束以能夠跟隨桿的升降移動的方式布線。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特許第2995450號公報；

專利文獻2：日本特許第4401514號公報；

專利文獻3：日本特許第3778866號公報。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

然而，在專利文獻1中，至少關(guān)于套管加熱器用的螺旋狀電線，例如在應(yīng)對180度以上(使用溫度范圍：20度～300度)等、比以往高的加熱溫度的情況下，為了提高發(fā)熱輸出，無法避免電線直徑的粗線化，但如果以跟隨閥體在波紋管內(nèi)的升降移動的方式設(shè)置的電線粗線化，那么會失去電線的良好的可撓性，故難以螺旋狀地纏繞，存在給組裝、分解、維護等閥的處理帶來不良影響的風(fēng)險。另外，由于粗線化，用于使電線隨著閥體的升降而收縮的阻力也增加，并且波紋管內(nèi)的電線的總重量也增大，因而也存在對閥體的驅(qū)動性造成不良影響的風(fēng)險。因此，在該文獻中，無法充分應(yīng)對加熱器用的電線的粗線化。