[發明專利]固晶機

有效

• 申請號: 202010195536.9
• 申請日: 2020-03-19
• 公開（公告）號: CN111370350B
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 胡新榮
• 申請（專利權）人: 深圳新益昌科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 徐漢華

1.固晶機，包括：

臺架；

點膠裝置，安裝于所述臺架上，用于對支架進行點膠；

點膠移位機構，安裝于所述臺架上，用于輸送所述支架并驅動所述支架于所述點膠裝置處移動；

供料機構，安裝于所述臺架上，用于向所述點膠移位機構上供給支架；

固晶擺臂裝置，安裝于所述臺架上，用于將晶片安裝于所述支架上；

供晶平臺，包括用于向所述固晶擺臂裝置定位供給晶片的晶圓移動機構，所述晶圓移動機構安裝于所述臺架上；

固晶移位機構，安裝于所述臺架上，用于輸送所述支架并驅動所述支架于所述固晶擺臂裝置處移動；以及，

收料機構，安裝于所述臺架上，用于回收固晶后的所述支架；

其特征在于：

所述固晶擺臂裝置包括旋轉架、滑動安裝于所述旋轉架上的多個固晶擺臂、分別驅動各所述固晶擺臂升降的升降器和驅動所述旋轉架轉動的固晶電機，所述固晶電機支撐于所述臺架上，各所述固晶擺臂上安裝有用于吸附晶片的吸嘴，多個所述固晶擺臂均勻分布所述旋轉架的周側；

所述點膠裝置包括多個分別用于對所述支架進行點膠的點膠模組，各所述點膠模組支撐于所述臺架上；

所述供料機構包括用于存儲所述支架的存料臺、用于向所述點膠移位機構傳送所述支架的供料傳送線、用于吸取所述支架的吸盤組件和驅動所述吸盤組件于豎直面上雙向平移的移料平臺；

所述點膠裝置包括安裝于所述臺架上的點膠機架、用于點膠且并排設置的兩個沾膠裝置和分別支撐各所述沾膠裝置的沾膠機架，各所述沾膠機架安裝于所述點膠機架上；

兩個所述沾膠機架分別為支撐一個所述沾膠裝置的第一沾膠架和支撐另一個所述沾膠裝置的第二沾膠架；所述點膠裝置還包括用于調節兩個所述沾膠裝置之間間距的間距調整裝置，所述間距調整裝置安裝于所述點膠機架上，所述第二沾膠架安裝于所述間距調整裝置上。

2.如權利要求1所述的固晶機，其特征在于：所述間距調整裝置包括安裝于所述點膠機架上的調節機座、滑動安裝于所述調節機座上的調節滑板和驅動所述調節滑板移動的直線移位器，所述第二沾膠架安裝于所述調節滑板上。

3.如權利要求2所述的固晶機，其特征在于：所述間距調整裝置還包括用于平穩所述調節滑板的平穩器，所述平穩器安裝于所述調節機座上。

4.如權利要求1-3任一項所述的固晶機，其特征在于：各所述沾膠裝置包括用于沾取膠液并點于所述支架上的沾膠擺臂裝置和用于向所述沾膠擺臂裝置供給膠液的供膠裝置，所述供膠裝置和所述沾膠擺臂裝置均安裝于相應所述沾膠機架上。

5.如權利要求4所述的固晶機，其特征在于：各所述沾膠擺臂裝置包括沾膠針、支撐所述沾膠針的沾針擺臂、驅動所述沾針擺臂升降的升降沾膠機構和驅動所述沾針擺臂水平擺動的擺臂驅動機構，所述擺臂驅動機構安裝于相應所述沾膠機架上，所述升降沾膠機構與所述擺臂驅動機構相連，所述沾針擺臂安裝于所述升降沾膠機構上。

6.如權利要求4所述的固晶機，其特征在于：兩個所述沾膠裝置對稱設置。

7.如權利要求4所述的固晶機，其特征在于：所述供膠裝置包括安裝于相應所述沾膠機架上的供膠機架、用于盛裝膠液的膠盤、驅動所述膠盤轉動的旋轉驅動機構和用于刮動所述膠盤中膠液的刮刀，所述刮刀、所述膠盤和所述旋轉驅動機構均安裝于所述供膠機架上。

8.如權利要求1-3任一項所述的固晶機，其特征在于：所述供晶平臺還包括頂針機構，所述頂針機構包括用于定位支撐所述晶片的頂晶針和微調移動所述頂晶針分別與各所述吸嘴配合對位的微調機構，所述微調機構安裝于所述臺架上。