[發明專利]檢查裝置

在審

• 申請號: 202010191627.5
• 申請日: 2020-03-18
• 公開（公告）號: CN111796336A
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 杉本一幸
• 申請（專利權）人: 株式會社石田
• 主分類號: G01V5/00
• 分類號: G01V5/00;G01V3/12;G01V13/00;G01N23/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 車美靈

1.一種檢查裝置，其特征在于，具備：

輸送部，輸送對象物；

照射部，對所述對象物照射電磁波；

檢測單元，具有第一檢測部和第二檢測部，所述第一檢測部包括檢測透過所述對象物后的第一能量帶的電磁波的多個第一元件，所述第二檢測部包括檢測透過所述對象物后的第二能量帶的電磁波的多個第二元件，所述第二檢測部與所述第一檢測部在上下方向上相對配置或者與所述第一檢測部在所述輸送部的輸送方向上相對配置；

生成部，基于通過各所述第一元件檢測到的所述電磁波來生成第一透過圖像，并且基于通過各所述第二元件檢測到的所述電磁波來生成第二透過圖像；

計算部，對于多個所述第一元件以及多個所述第二元件分別計算使基于所述第一透過圖像的所述第一元件的第一輸出值和基于所述第二透過圖像的與所述第一元件相對配置的所述第二元件的第二輸出值一致或者近似的亮度轉換函數；或者對于多個第一元件組以及多個第二元件組分別計算使基于所述第一透過圖像的所述第一元件組的第一輸出值和基于所述第二透過圖像的所述第二元件組的第二輸出值一致或者近似的亮度轉換函數，其中所述第一元件組由多個所述第一元件構成，所述第二元件組由與所述第一元件組相對配置的所述第二元件構成；以及

校正部，基于通過所述計算部計算出的所述亮度轉換函數來校正各所述第一元件或者各所述第一元件組的所述第一輸出值以及各所述第二元件或者各所述第二元件組的所述第二輸出值中的至少一方。

2.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述生成部對于多個不同的所述對象物以及在所述輸送部上的位置不同的所述對象物的至少一方生成多個所述第一透過圖像以及多個所述第二透過圖像，

所述計算部基于多個所述第一透過圖像以及多個所述第二透過圖像來計算所述亮度轉換函數。

3.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述校正部基于不包括所述對象物的所述第一透過圖像來計算使所有所述第一元件各自的所述第一輸出值一致或者近似的第一亮度轉換函數，

所述校正部基于不包括所述對象物的所述第二透過圖像來計算使所有所述第二元件各自的所述第二輸出值一致或者近似的第二亮度轉換函數，

所述校正部基于通過所述計算部計算出的所述第一亮度轉換函數以及所述第二亮度轉換函數來校正各所述第一元件的所述第一輸出值以及各所述第二元件的所述第二輸出值。