[發(fā)明專(zhuān)利]氮化鋁基板用研磨劑組合物及氮化鋁基板的研磨方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010190298.2
• 申請(qǐng)日: 2020-03-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111793467B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 后藤優(yōu)治;巢河慧
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 山口精研工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C09K3/14
• 分類(lèi)號(hào): C09K3/14;B24B57/02
• 代理公司: 北京匯思誠(chéng)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11444
• 代理人: 孫明;龔敏

1.一種氮化鋁基板用研磨劑組合物，其特征在于，含有氧化鋁粒子、脂肪族胺化合物、酸和/或其鹽、以及水，且25℃下的pH值為7.5以上且小于11.5，

作為所述脂肪族胺化合物，含有具有羥基的脂肪族胺化合物和不具有羥基的脂肪族胺化合物各一種以上，

所述具有羥基的脂肪族胺化合物為選自單乙醇胺、1-氨基丙醇、3-氨基丙醇、2-甲基氨基乙醇、2-氨基-1-丁醇、2-氨基-2-甲基-1-丙醇、N,N-二乙基羥基胺、N,N-二甲基乙醇胺、2-乙基氨基乙醇、2-(丁基氨基)乙醇、二乙醇胺、二異丙醇胺、2-氨基-2-甲基丙二醇、N-甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、三乙醇胺中的至少1種，

所述酸和/或其鹽為選自無(wú)機(jī)酸和/或其鹽、有機(jī)酸和/或其鹽中的至少1種，

所述無(wú)機(jī)酸和/或其鹽為選自硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸和/或它們的鹽中的至少1種，

所述有機(jī)酸和/或其鹽為選自草酸、蘋(píng)果酸、檸檬酸、甲酸、乙酸、琥珀酸、丙二酸、己二酸、癸二酸、富馬酸、馬來(lái)酸、酒石酸、丙酸、乳酸和/或它們的鹽中的至少1種。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鋁基板用研磨劑組合物，其中，

所述不具有羥基的脂肪族胺化合物為選自乙胺、正丙胺、異丙胺、正丁胺、異丁胺、仲丁胺、叔丁胺、環(huán)己胺、哌嗪、二乙胺、甲基丙胺、乙基丙胺、三乙胺、乙二胺、1,2-丙二胺、三亞甲基二胺、四亞甲基二胺、五亞甲基二胺、六亞甲基二胺、N,N-二甲基乙二胺、N-乙基乙二胺、N,N,N,N-四甲基乙二胺、N-甲基-1,3-丙二胺、1,3-二氨基戊烷、二亞乙基三胺、雙(六亞甲基)三胺、三亞乙基三胺、三亞乙基四胺、四亞乙基五胺、五亞乙基六胺、四甲基六亞甲基二胺中的至少1種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鋁基板用研磨劑組合物，其中，

所述研磨劑組合物的25℃下的pH值為8.5以上且小于10.5。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鋁基板用研磨劑組合物，其中，

所述氮化鋁基板為氮化鋁多晶基板。

5.一種氮化鋁基板的研磨方法，其特征在于，

以循環(huán)供給方式使用權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的研磨劑組合物而對(duì)氮化鋁基板進(jìn)行研磨。

6.一種氮化鋁多晶基板的研磨方法，其特征在于，

以循環(huán)供給方式使用權(quán)利要求4所述的研磨劑組合物而對(duì)氮化鋁多晶基板進(jìn)行研磨。