[發明專利]一種蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 202010189544.2
• 申請日: 2020-03-18
• 公開（公告）號: CN111334755B
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 喬小平
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/22
• 代理公司: 福州市博深專利事務所(普通合伙) 35214
• 代理人: 顏麗蓉

1.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括坩堝本體和基板，所述坩堝本體位于所述基板上方，所述坩堝本體和基板之間設有防塵裝置，所述防塵裝置被配置為吸收所述坩堝本體產生的灰塵顆粒；

所述坩堝本體的一側面設有供坩堝本體內的噴射物向外噴射的噴嘴，在所述蒸鍍裝置的豎直方向上，所述噴嘴與所述防塵裝置的邊緣平齊，所述噴嘴傾斜設置且所述噴嘴的噴射口朝向所述基板；

所述防塵裝置包括上防塵板，所述上防塵板與所述坩堝本體相互平行設置，在所述蒸鍍裝置的豎直方向上，所述噴嘴與所述上防塵板的邊緣平齊；所述上防塵板上設有盲孔；所述上防塵板靠近所述坩堝本體的一側面的邊緣上設有側板，所述側板傾斜設置在所述上防塵板上，所述側板與所述上防塵板的延伸面之間形成的夾角為45-90°且所述側板在所述上防塵板的延伸面的投影的水平寬度為1-3cm；

所述防塵裝置還包括下防塵板，所述下防塵板設置在所述上防塵板與所述基板之間，所述下防塵板與所述上防塵板相互平行設置且所述下防塵板的軸中心和上防塵板的軸中心在同一直線上，在所述蒸鍍裝置的豎直方向上，所述下防塵板的邊緣與所述上防塵板的邊緣不平齊。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述噴嘴的延長線與所述基板所在的法線之間形成的夾角為30-45°。

3.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述上防塵板的邊緣處所在的法線與所述下防塵板的邊緣處所在的法線之間的距離為2-6cm。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述上防塵板與所述下防塵板之間設有間距，所述間距為1-3cm。