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[發明專利]閥門組件和抽真空裝置在審

專利信息
申請號: 202010188261.6 申請日: 2020-03-17
公開(公告)號: CN111425615A 公開(公告)日: 2020-07-17
發明(設計)人: 梁建軍;朱海劍;候岳明 申請(專利權)人: 常州捷佳創精密機械有限公司
主分類號: F16K3/18 分類號: F16K3/18;F16K3/30;F04B37/14;F04B39/10;C23C16/54;C23C16/50
代理公司: 北京友聯知識產權代理事務所(普通合伙) 11343 代理人: 汪海屏;王淑梅
地址: 213133 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 閥門 組件 真空 裝置
【說明書】:

發明提供了一種閥門組件和一種抽真空裝置,閥門組件包括:伸縮裝置;基座,與伸縮裝置的伸縮端可移動相連接;連桿機構,連桿機構的第一連接端與伸縮端相連接,連桿機構的第二連接端與基座相連接;密封部,與連桿機構的第三連接端相連接;其中,在伸縮裝置的伸縮過程中,相對伸縮端運動的基座通過連桿機構帶動密封部運動。該結構簡單、有效簡化了生產和裝配環節,降低了生產成本。并且該閥門組件適用于重載場合,多個閥門組件配合使用可以提升重量和體積較大的密封部移動以封堵面積較大的開口,從而使該閥門組件更加適用于工業產品,進而實現優化閥門組件結構,提升閥門組件的密封性和可靠性,提升產品競爭力的技術效果。

技術領域

本發明涉及閥門技術領域,具體而言,涉及一種閥門組件和一種抽真空裝置。

背景技術

真空設備,尤其太陽能電池片PCEVD(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition,等離子體增強化學的氣象沉積法)設備中,真空腔體,需要通過門閥不斷和其他真空腔體連通、隔斷,或者和大氣連通、隔斷。門閥的密封性能和動作時間,都直接影響著整體設備的性能和產能,并且傳統真空門閥由于結構復雜,成本相對較高。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術或相關技術中存在的技術問題之一。

為此,本發明的第一方面提出一種閥門組件。

本發明的第二方面提出了一種抽真空裝置。

有鑒于此,本發明的第一方面提供了一種閥門組件,閥門組件包括:伸縮裝置;基座,與伸縮裝置的伸縮端可移動相連接;連桿機構,連桿機構的第一連接端與伸縮端相連接,連桿機構的第二連接端與基座相連接;密封部,與連桿機構的第三連接端相連接;其中,在伸縮裝置的伸縮過程中,相對伸縮端運動的基座通過連桿機構帶動密封部運動。

在該技術方案中,限定了一種閥門組件,閥門組件包括伸縮裝置、基座、連桿機構和密封部。伸縮裝置的伸縮端在工作過程中伸長或縮短,以驅動閥門組件工作。基座和連桿機構共同組成閥門組件的傳動機構,基座與伸縮裝置的伸縮端相可移動連接。連桿機構上設置有至少三個連接端,第一連接端與伸縮裝置上的伸縮端相連接,第二連接端與基座轉動相連,第三連接端與密封部轉動相連接。工作過程中,伸縮裝置的伸縮端帶動連桿機構和基座運動,基座相對伸縮裝置運動的過程中通過第二連接端拉動連桿機構一同動作,動作中的連桿機構帶動密封部運動至目標封堵位置以實現閥門組件的封堵功能。從而構成了由伸縮裝置提供動力,由基座和伸縮裝置之間的相對運動趨勢拉動連桿機構運作的傳動結構,從而通過運作的連桿將密封部移動至需要密封的結構的開口處。該結構簡單、有效簡化了生產和裝配環節,降低了生產成本。并且該閥門組件適用于重載場合,多個閥門組件配合使用可以提升重量和體積較大的密封部移動以封堵面積較大的開口,從而使該閥門組件更加適用于工業產品,進而實現優化閥門組件結構,提升閥門組件的密封性和可靠性,簡化閥門組件結構,降低生產難度和裝配難度,削減生產成本,提升產品競爭力的技術效果。

另外,本發明提供的上述技術方案中的閥門組件還可以具有如下附加技術特征:

在上述技術方案中,優選地,閥門組件還包括:殼體,基座,連桿機構和密封部設置于殼體內,殼體上設置有閥孔;其中,基座與殼體接觸后相對伸縮端運動,以通過連桿機構帶動密封部封堵閥孔;基座脫離殼體后相對伸縮端運動,以通過連桿機構帶動密封部遠離閥孔。

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