[發明專利]一種基于板簧微調的定位檢測裝置

在審

• 申請號: 202010187535.X
• 申請日: 2020-03-17
• 公開（公告）號: CN111239444A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 李延磊;成巍;戈海龍;馬慶增;何建群;馬新強
• 申請（專利權）人: 山東省科學院激光研究所
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/28
• 代理公司: 濟南誠智商標專利事務所有限公司 37105
• 代理人: 楊先凱

本發明為一種基于板簧微調的定位檢測裝置，包括底座，底座上設有安裝架，安裝架上連接有能夠左右移動的Y軸滑動臺，Y軸滑動臺上連接有能夠上下移動的Z軸滑動臺，Z軸滑動臺通過Z軸連接塊連接有組合探針調整機構，組合探針調整機構中通過微分頭調節板簧彎曲狀態從而帶動滑動軸左右細微的滑動；滑動軸上通過滑動軸連接塊上連接有探針間距調整機構，探針間距調整機構中通過旋轉連接桿帶動旋向相反的螺紋套一和螺紋套二相向或相背運動，進而帶動探針進行間距調整，通過位置與連接桿同軸設置的位置指示器精確顯示探針間距。本裝置能夠通過快速高精度的調整組合探針位置及探針間距來適應不同型號的芯片或PCB板的測試，使用方便，適宜推廣。

(一)技術領域

本發明涉及半導體檢測設備技術領域，具體為一種基于板簧微調的定位檢測裝置。

(二)背景技術

半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試中，為確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本，需要高精度的定位檢測裝置的參與。現有技術中的定位檢測裝置大多組合探針和探針之間的位置相對固定的，只能實現某種特定尺寸或類型的芯片或PCB板導通的測試，對于不同型號的芯片需要準備相應專門的定位檢測裝置，使用局限性較大，測試成本高，給檢測帶來不便；目前也有些檢測裝置的探針之間能夠實現一定的位置調整，但是調整精度低，調整操作過程麻煩，效率較低。

(三)發明內容

為克服現有技術中存在的上述問題，本發明提供了一種基于板簧微調的定位檢測裝置，能夠通過快速高精度的調整組合探針位置及探針間距來適應不同型號的芯片或PCB板的測試，本發明是通過如下技術方案實現的：

一種基于板簧微調的定位檢測裝置，包括底座，所述底座上設有安裝架，所述安裝架上連接有Z軸滑動臺，所述Z軸滑動臺通過Z軸連接塊連接有組合探針調整機構；所述組合探針調整機構包括水平連接在Z軸連接塊上的支撐板，所述支撐板的頂面上左、右兩側分別設有對稱的左支承座和右支承座，所述左支承座和右支承座之間貫穿有能夠左右滑動的滑動軸，所述滑動軸上連接有滑動軸連接塊，所述滑動軸上連接還有止旋限位裝置，所述滑動軸連接塊上連接有探針間距調整機構；所述探針間距調整機構包括連接在滑動軸連接塊上的間距調整基板，所述間距調整基板的左、右兩側均設有連接座，左、右的所述連接座之間連接有連接桿，所述連接桿上配合連接有螺紋套一和螺紋套二，所述螺紋套一和螺紋套二能夠在連接桿上左、右運動，所述螺紋套一和螺紋套二的下端均連接有螺紋套連接板，所述螺紋套連接板上連接有用于固定探針的探針支架。

優選的，所述左支承座和右支承座均包括左側板、右側板及連接在左側板和右側板上方的頂板，所述滑動軸滑動連接于左支承座的右側板和右支承座的左側板；所述左支承座的左側板與滑動軸的左端及右支承座的右側板與滑動軸的右端均通過板簧連接；所述左支承座的頂板上設有微分頭，所述微分頭位于板簧正上方，微分頭能夠上下運動按壓或放松所述板簧。

優選的，所述微分頭下端與左支承座的頂板螺紋連接，且微分頭下端螺紋部分的上方圓周面上設有上下方向的刻度層。

優選的，所述左支承座和右支承座的板簧下方均設有下限位桿，所述下限位桿連接在支撐板上；所述右支承座的板簧上方還設有上限位桿。

優選的，所述止旋限位裝置包括的導向軸及滑動連接于所述導向軸兩端的導向軸座，所述導向軸座的下端固定在支撐板上；所述導向軸與滑動軸通過固定夾連接。

優選的，所述連接座為滾動軸承座，所述連接桿為螺紋桿，螺紋套一和螺紋套二與連接桿螺紋配合連接且旋向相反；連接桿的右端設有調整旋鈕；所述螺紋套連接板的內側連接有螺紋套滑塊，所述間距調整基板上連接有左右方向的螺紋套導軌，所述螺紋套滑塊和螺紋套導軌配合連接；所述連接座上還連接有固定旋鈕，所述固定旋鈕與連接座螺紋連接，通過旋轉固定旋鈕抵住或松開連接桿。

優選的，所述連接座與調整旋鈕之間設有位置指示器。

優選的，所述螺紋套一和螺紋套二之間連接有對中彈簧。