[發(fā)明專(zhuān)利]一種適用于氧化層的激光清洗方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010187176.8 | 申請(qǐng)日： | 2020-03-17 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN111203414A | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-05-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 謝曦宇;涂守湊;趙曙明 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 深圳市匯澤激光科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B08B7/00 | 分類(lèi)號(hào)： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 李滔 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 適用于 氧化 激光 清洗 方法 | ||
1.一種適用于氧化層的激光清洗方法，其特征在于，所述氧化層厚度至少為170μm，所述激光清洗方法包括如下步驟：
通過(guò)連續(xù)激光對(duì)待清洗區(qū)域進(jìn)行清洗，所述連續(xù)激光功率為1000-2000w，掃描速度為8000-10000mm/s，線(xiàn)間距為0.08-0.12mm通過(guò)設(shè)定上述參數(shù)范圍內(nèi)的連續(xù)激光使得表面的氧化層受熱膨脹而蓬松剝離，清洗后氧化層的余量不大于60μm；
通過(guò)壓縮空氣對(duì)所述清洗區(qū)域吹氣，從而將已經(jīng)蓬松但未完全剝離的氧化層吹掉；
通過(guò)納秒脈沖激光對(duì)所述待清洗區(qū)域進(jìn)行清洗，所述納秒脈沖激光功率為80-200W，掃描速度為6000-10000mm/s，脈寬為10-520ns，頻率為20-4500KHZ，線(xiàn)間距為0.08-0.12mm，通過(guò)設(shè)定上述參數(shù)范圍內(nèi)的連續(xù)激光將剩下未蓬松的氧化層氣化振動(dòng)去除。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，通過(guò)連續(xù)激光對(duì)待清洗區(qū)域進(jìn)行第一遍清洗，以使得表面的氧化層受熱膨脹而蓬松剝離，清洗后氧化層的余量不大于20μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，通過(guò)納秒脈沖激光對(duì)所述待清洗區(qū)域進(jìn)行清洗的次數(shù)至少為兩次，第一遍所述納秒脈沖激光功率為150-200W，掃描速度為6000-8000mm/s，線(xiàn)間距為0.08-0.12mm，第一遍之后的所述納秒脈沖激光功率為80-120W，掃描速度為8000-10000mm/s，線(xiàn)間距為0.08-0.1mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，所述連續(xù)激光進(jìn)行清洗時(shí)，調(diào)節(jié)激光焦點(diǎn)位置在工件上方20-50mm之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，激光清洗過(guò)程中還通過(guò)抽風(fēng)裝置除去生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的煙塵顆粒物以及廢氣。
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