[發(fā)明專利]檢查方法及檢查裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010186941.4
• 申請(qǐng)日: 2020-03-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111721776A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小林信次;宮路隆昭;松田俊介;中川弘也
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友化學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01N21/95
• 分類號(hào): G01N21/95;G01N21/958;G01M11/02
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 葛凡

1.一種檢查方法，其為判斷膜狀的被檢查物有無(wú)缺陷的檢查方法，所述膜狀的被檢查物具備圓偏振板和由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯系樹(shù)脂形成的剝離膜，在該檢查方法中，依次排列地配置：

所述被檢查物；

第一相位差板，其波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值與所述剝離膜的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值大致相同，并且，對(duì)所述剝離膜所具有的雙折射進(jìn)行補(bǔ)償；以及

相位差濾光片，其與所述圓偏振板構(gòu)成正交尼克爾棱鏡，

從所述被檢查物側(cè)或所述相位差濾光片側(cè)中的任一側(cè)入射光，從另一側(cè)觀察所述相位差濾光片或所述被檢查物來(lái)判斷所述圓偏振板有無(wú)缺陷，

將所述第一相位差板替換成第二相位差板，其中，所述第二相位差板的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值比所述剝離膜的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值大50nm～100nm，并且，對(duì)所述剝離膜所具有的雙折射進(jìn)行補(bǔ)償，

從所述被檢查物側(cè)或所述相位差濾光片側(cè)中的任一側(cè)入射光，從另一側(cè)觀察所述相位差濾光片或所述被檢查物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中，所述圓偏振板具有包含聚合性液晶化合物的固化物的相位差膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查方法，其中，將所述被檢查物、所述第一相位差板、所述第二相位差板及所述相位差濾光片中的至少一者以彼此相向的角度不同的方式傾斜，或在與所述光的光軸垂直的方向上旋轉(zhuǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的檢查方法，其中，所述第一相位差板及所述第二相位差板彼此配置在同一構(gòu)件內(nèi)而構(gòu)成。

5.一種檢查裝置，其為使光入射至膜狀的被檢查物來(lái)判斷所述圓偏振板有無(wú)缺陷的檢查裝置，所述膜狀的被檢查物具備圓偏振板和由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯系樹(shù)脂形成的剝離膜，所述檢查裝置具備：

光源；

相位差濾光片，其使從所述光源發(fā)出且被所述被檢查物轉(zhuǎn)換成圓偏振光的光入射；

相位差板，其配置在與配置所述被檢查物的位置相比更遠(yuǎn)離所述光源一側(cè)，且與配置所述相位差濾光片的位置相比更靠近所述光源的一側(cè)，并且使所述圓偏振光通過(guò)，

所述相位差板包含第一相位差板和第二相位差板，其中，所述第一相位差板的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值與所述剝離膜的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值大致相同，所述第二相位差板的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值比所述剝離膜的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值大50nm～100nm，所述第一相位差板及所述第二相位差板對(duì)所述剝離膜所具有的雙折射進(jìn)行補(bǔ)償。

6.一種檢查裝置，其為使圓偏振光入射至膜狀的被檢查物來(lái)判斷所述圓偏振板有無(wú)缺陷的檢查裝置，所述膜狀的被檢查物具備圓偏振板和由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯系樹(shù)脂形成的剝離膜，所述檢查裝置具備：

光源；

相位差濾光片，其將所述光源發(fā)出的光轉(zhuǎn)換成所述圓偏振光；

相位差板，其配置在與配置所述被檢查物的位置相比更靠近所述光源的一側(cè)，且與配置所述相位差濾光片的位置相比更遠(yuǎn)離所述光源的一側(cè)，并且使所述圓偏振光通過(guò)，

所述相位差板包含第一相位差板和第二相位差板，其中，所述第一相位差板的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值與所述剝離膜的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值大致相同，所述第二相位差板的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值比所述剝離膜的波長(zhǎng)550nm時(shí)的面內(nèi)相位差值大50nm～100nm，所述第一相位差板及所述第二相位差板對(duì)所述剝離膜所具有的雙折射進(jìn)行補(bǔ)償。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的檢查裝置，其中，所述相位差板中，在同一構(gòu)件內(nèi)配置所述第一相位差板及所述第二相位差板而構(gòu)成。