[發(fā)明專利]一種基于模態(tài)局部化效應(yīng)的高階模態(tài)微質(zhì)量傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010186923.6 | 申請日： | 2020-03-17 |
| 公開（公告）號： | CN111351553B | 公開（公告）日： | 2021-08-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 呂明;趙劍;劉蓬勃 | 申請（專利權(quán)）人： | 大連理工大學(xué) |
| 主分類號： | G01G3/16 | 分類號： | G01G3/16;G01N5/00 |
| 代理公司： | 大連東方專利代理有限責(zé)任公司 21212 | 代理人： | 姜威威;李洪福 |
| 地址： | 116024 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 局部 效應(yīng) 高階模態(tài)微 質(zhì)量 傳感器 | ||
1.一種基于模態(tài)局部化效應(yīng)的高階模態(tài)微質(zhì)量傳感器,其特征在于:包括，
第一固支梁、第二固支梁、上耦合電極Ⅰ、上耦合電極Ⅱ、下耦合電極Ⅰ、下耦合電極Ⅱ、固定電極Ⅰ、固定電極Ⅱ、耦合電壓源和驅(qū)動電壓源；
所述第一固支梁兩端分別通過固定端Ⅰ和固定端Ⅱ固定；
所述第二固支梁兩端分別通過固定端Ⅲ和固定端Ⅳ固定；
所述上耦合電極Ⅰ和所述上耦合電極Ⅱ固定在所述第一固支梁的下表面兩端；
所述下耦合電極Ⅰ和所述下耦合電極Ⅱ固定在所述第二固支梁的上表面兩端；
所述第一固支梁的下表面和所述第二固支梁的上表面之間施加所述耦合電壓源實現(xiàn)相對應(yīng)的靜電耦合連接；
所述固定電極Ⅰ和所述固定電極Ⅱ分別與所述驅(qū)動電壓源相連接；
所述固定電極Ⅰ和所述固定電極Ⅱ固定在所述第二固支梁的下方；
所述第一固支梁的長度和所述第二固支梁的長度相等；
所述第一固支梁寬度和所述第二固支梁的寬度相等；
所述上耦合電極Ⅰ的長度、所述上耦合電極Ⅱ的長度、所述下耦合電極Ⅰ的長度和所述下耦合電極Ⅱ的長度相等；所述上耦合電極Ⅰ的長度等于所述第二固支梁長度的三分之一；
所述上耦合電極Ⅰ的寬度、所述上耦合電極Ⅱ的寬度、所述下耦合電極Ⅰ的寬度和所述下耦合電極Ⅱ的寬度相等；
所述固定電極Ⅰ的長度和固定電極Ⅱ的長度均等于所述第二固支梁長度的三分之一；所述固定電極Ⅰ的寬度和所述固定電極Ⅱ的寬度均等于所述第二固支梁的寬度。
2.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種基于模態(tài)局部化效應(yīng)的高階模態(tài)微質(zhì)量傳感器，其特征在于：所述固定電極Ⅰ、所述固定電極Ⅱ與所述第二固支梁之間的距離小于等于所述第二固支梁與所述第一固支梁之間的距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種基于模態(tài)局部化效應(yīng)的高階模態(tài)微質(zhì)量傳感器，其特征在于：所述固定電極Ⅰ和所述固定電極Ⅱ由所述驅(qū)動電壓源產(chǎn)生的交流電和直流電共同驅(qū)動。
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