[發明專利]一種薄膜封裝結構及薄膜封裝方法

在審

• 申請號: 202010182821.7
• 申請日: 2020-03-16
• 公開（公告）號: CN111446380A
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 齊夢軻;王浩;李建
• 申請（專利權）人: 齊夢軻
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及封裝結構及封裝方法技術領域，具體涉及一種薄膜封裝結構及薄膜封裝方法，該無薄膜封裝結構包括基層薄膜、主層薄膜、阻隔膜和聚合物膜；所述基層薄膜覆蓋在面板上，基層薄膜上設有主層薄膜；所述主層薄膜上設有阻隔膜；所述聚合物膜層通過涂覆固化處理附著在阻隔膜上；由于成膜腔中的殘留有基層薄膜覆膜過程中未反應完全的物質，使得后續覆膜物的純度受到干擾，降低了后續的薄膜封裝質量；故此，本發明通過設置在成膜腔中的集氣槽，通過集氣槽將前一階段覆膜的氣體成分吸收干凈，避免了對供氣管在提供后續覆膜氣體時的純度影響，保護了每一階段薄膜覆膜反應的純度，從而提升了薄膜封裝結構的穩定性。

技術領域

本發明涉及封裝結構及封裝方法技術領域，具體涉及一種薄膜封裝結構及薄膜封裝方法。

背景技術

有機發光二極管(OLED)的顯示產品因其具備廣色域、快速響應、節能、可柔性優點，成為顯示產品市場上的翹楚；然而OLED器件本身的材料對日常環境中的水氣和氧氣極其敏感，水氧的存在會使這些功能層逐漸腐蝕損壞，是目前OLED技術發展的瓶頸；為了保證OLED的正常使用壽命，人們必須對OLED面板進行封裝，而后才能將其組裝成手機、顯示器等產品并流入市場；而柔性OLED將面臨更復雜封裝問題，封裝層需要保持與OLED同樣的柔性，同時要達到足夠的阻隔性能，保證OLED器件即使歷經彎折仍然具有較長的使用壽命；目前的柔性封裝方案包括采用薄膜封裝的方法，直接在OLED上沉積具有水氧阻隔能力的薄膜；關于針對OLED薄膜封裝技術的介紹，可參見：駱楊等,有機電致發光器件的新型薄膜封裝技術研究[J]，光電子·激光，2014(No.5).840-844。

目前的薄膜封裝結構中往往采用多層薄膜封裝的方式，來確保滿足封裝的要求，而在多層薄膜的依次封裝過程中，不同的薄膜層封裝所需的材料有所區別，而在薄膜封裝設備中添加的反應物存在未完全反應消耗的情況，使其對后續薄膜層的附著材料純度造成影響，繼而降低了薄膜封裝結構的穩定性及其有效使用壽命。

現有技術中也出現了一些關于薄膜封裝結構及薄膜封裝方法的技術方案，如申請號為2015110281078的一項中國專利公開了一種薄膜封裝結構及薄膜封裝方法，包括若干層疊并間隔設置在基板上的平坦化層和阻隔層；在后所述阻隔層在所述基板上的投影面積不小于相鄰在前所述阻隔層在所述基板上的投影面積；且在后所述阻隔層在所述基板上的投影覆蓋在前所述阻隔層在基板上投影的部分邊緣。相鄰所述阻隔層之間的縫隙不全暴露于外部環境中，有效阻擋水氧的橫向穿透，封裝效果好；該技術方案中的薄膜封裝方法，通過掩膜補償的方法實現在后阻隔層覆蓋在先阻隔層，不但能夠有效減少掩膜板數量，降低掩膜板成本；而且能夠實現共用多個制備腔室，有效節約了生產時間，提高產能的同時提高了設備靈活性；但是該技術方案中在不同的膜層進行先后封裝反應時，前一步添加的未耗盡的反應物殘留會對后續的覆膜反應物的純度造成影響，降低了薄膜封裝結構的穩定性。

鑒于此，為了克服上述技術問題，本公司設計研發了一種薄膜封裝結構及薄膜封裝方法，采用了特殊的薄膜封裝結構及薄膜封裝方法，解決了上述技術問題。

發明內容

為了彌補現有技術的不足，本發明提出了一種薄膜封裝結構及薄膜封裝方法，通過設置在成膜腔中的集氣槽，通過集氣槽將前一階段覆膜的氣體成分吸收干凈，避免了對供氣管在提供后續覆膜氣體時的純度影響，保護了每一階段薄膜覆膜反應的純度，從而提升了薄膜封裝結構的穩定性。