[發明專利]一種環形剪切壓電加速度傳感器結構及其制作方法

在審

• 申請號: 202010181997.0
• 申請日: 2020-03-16
• 公開（公告）號: CN111366752A
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 陶彥博;楊君;蘆維寧;陳章;梁斌
• 申請（專利權）人: 深圳華清精密科技有限公司
• 主分類號: G01P15/09
• 分類號: G01P15/09;H01L41/053;H01L41/22
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 黃文鋒

1.一種環形剪切壓電加速度傳感器結構，其特征在于，所述環形剪切壓電加速度傳感器結構包括有：

一底座，該底座的頂面中央處形成有一垂直于所述底座的安裝柱，所述安裝柱與底座的連接處形成有限位結構；

一圓環體狀的形狀記憶合金，該形狀記憶合金外套于所述安裝柱上，所述安裝柱的外表面與形狀記憶合金的內表面之間形成有間隙；

至少一壓電晶體，所述壓電晶體設置于所述安裝柱與形狀記憶合金之間，壓電晶體的內表面和外表面均為圓弧面，所述壓電晶體的內表面與所述安裝柱的外表面貼合，所述壓電晶體的外表面與所述形狀記憶合金的內表面貼合，利用形狀記憶合金受力收縮將壓電晶體緊固在所述安裝柱上。

2.如權利要求1所述的環形剪切壓電加速度傳感器結構，其特征在于，所述安裝柱和形狀記憶合金各焊接有一導線。

3.如權利要求1所述的環形剪切壓電加速度傳感器結構，其特征在于，所述限位結構為定位臺階。

4.如權利要求1所述的環形剪切壓電加速度傳感器結構，其特征在于，所述形狀記憶合金為單程形狀記憶合金。

5.如權利要求1所述的環形剪切壓電加速度傳感器結構，其特征在于，所述壓電晶體的數量為2個。

6.如權利要求1所述的環形剪切壓電加速度傳感器結構，其特征在于，所述底座采用鈦合金棒料制備。

7.一種環形剪切壓電加速度傳感器結構的制作方法，其特征在于，所述環形剪切壓電加速度傳感器結構的制作方法包括有步驟：

S1：制備底座，該底座的頂面中央處形成有一垂直于所述底座的安裝柱，所述安裝柱與底座連接處形成有限位結構；

S2：制備圓環體狀的形狀記憶合金；

S3：制備壓電晶體，所述壓電晶體的內表面和外表面均為圓弧面，壓電晶體的內表面的圓弧度與所述安裝柱外表面的圓弧度相匹配，壓電晶體的外表面的圓弧度與所述形狀記憶合金內表面的圓弧度相匹配；

S4：將壓電晶體安裝于底座的安裝柱上，壓電晶體的內表面與所述安裝柱的外表面貼合；

S5：將形狀記憶合金外套于壓電晶體上，壓電晶體的外表面與形狀記憶合金的內表面貼合；

S6：對形狀記憶合金施加一作用力，使形狀記憶合金受力收縮將壓電晶體緊固在所述安裝柱上。

8.如權利要求7所述的環形剪切壓電加速度傳感器結構的制作方法，其特征在于，所述環形剪切壓電加速度傳感器結構的制作方法還包括有步驟S7：于所述安裝柱和形狀記憶合金上各焊接一導線。

9.如權利要求7所述的環形剪切壓電加速度傳感器結構的制作方法，其特征在于，所述步驟S1進一步包括：

S11：將備好的鈦合金棒料切削加工成一圓盤狀的底座，底座的頂面中央處留有一安裝柱，所述安裝柱與底座連接處留有限位結構；

S12：對安裝柱的外表面進行研磨加工。

10.如權利要求8所述的環形剪切壓電加速度傳感器結構的制作方法，其特征在于，所述步驟S3進一步包括：

S31：壓電晶體的成型燒制；

S32：對壓電晶體的內表面和外表面進行研磨加工。