[發明專利]適用于在線回收及供給循環系統的硅片切削液及制備方法

在審

• 申請號: 202010181587.6
• 申請日: 2020-03-16
• 公開（公告）號: CN111286394A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 沈家華;呂德;蘇光臨;陳韜
• 申請（專利權）人: 南寧珀源能源材料有限公司
• 主分類號: C10M169/04
• 分類號: C10M169/04;C10N40/22;C10N30/18;C10N30/10
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369
• 代理人: 靳浩

1.適用于在線回收及供給循環系統的硅片切削液，其特征在于，包括以下重量百分比的組分：三乙醇胺硼酸酯0.1-1％、抑泡劑0.1-5％、無泡乳化劑0.05-5％、殺菌抑菌劑0.1-5％、聚乙二醇5-40％、無泡滲透劑1-20％、低泡清洗劑5-10％和余量的去離子水；

其中，所述抑泡劑為炔二醇、異辛醇中的一種或者兩種混合；所述無泡乳化劑為異構醇聚氧乙烯醚1005、FT625中的一種或者兩種混合。

2.如權利要求1所述的適用于在線回收及供給循環系統的硅片切削液，其特征在于，所述殺菌抑菌劑為異噻唑啉酮、均三嗪、有機胍類殺菌劑、低毒酚類殺菌劑中的一種或者幾種混合。

3.如權利要求2所述的適用于在線回收及供給循環系統的硅片切削液，其特征在于，所述無泡滲透劑為陶氏EH-9、陶氏TRITON DF-20、低泡脂肪醇聚氧烷基醚Plurafac LF 221中的一種或者幾種混合。

4.如權利要求3所述的適用于在線回收及供給循環系統的硅片切削液，其特征在于，所述低泡清洗劑為聚醚多元醇AL-602、有機胺酯TPP中的一種或者兩種混合。

5.如權利要求4所述的適用于在線回收及供給循環系統的硅片切削液，其特征在于，所述聚乙二醇為聚乙二醇200、聚乙二醇300或者聚乙二醇400中的一種。

6.適用于在線回收及供給循環系統的硅片切削液的制備方法，其特征在于，采用如權利要求1-5任一項的重量百分比的組分，在低于60℃的環境下，將聚乙二醇和無泡乳化劑攪拌均勻，然后加入三乙醇胺磷酸酯、低泡清洗劑、無泡滲透劑、抑泡劑和殺菌抑菌劑攪拌均勻，最后加入去離子水，攪拌均勻，得到清澈溶液即為切削液。

7.如權利要求6所述的適用于在線回收及供給循環系統的硅片切削液的制備方法，其特征在于，所述聚乙二醇和無泡乳化劑攪拌的時間為30分鐘；加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗劑，無泡滲透劑，抑泡劑和殺菌抑菌劑攪拌時間為1小時；加入去離子水攪拌為1小時。