[發明專利]高硬高耐磨摻銀類金剛石紅外增透膜的制備方法有效
| 申請號： | 202010181260.9 | 申請日： | 2020-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN113403588B | 公開（公告）日： | 2022-11-25 |
| 發明（設計）人： | 江曉紅;方嘉林 | 申請（專利權）人： | 南京理工大學 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京理工大學專利中心 32203 | 代理人： | 劉海霞 |
| 地址： | 210094 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 高硬高 耐磨 摻銀類 金剛石 紅外 增透膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.高硬高耐磨摻銀類金剛石紅外增透膜材料的制備方法，其特征在于，具體步驟如下：
步驟1，將銀棒插入石墨靶材橫截面中，分布在與石墨橫截面同心的等邊六邊形頂點和形心處，制成摻銀的石墨靶材，所述的銀棒純度為99.99%，所述的等邊六邊形的邊長為0.8cm，所述的七根銀棒裸露的截面積總和與石墨裸露的截面積的比例為0.0753：1；
步驟2，將溴化鉀片放入真空陰極弧等離子蒸發腔中，抽真空，采用真空陰極弧等離子蒸發法，將膜鍍在溴化鉀片上，得到高硬高耐磨摻銀類金剛石紅外增透膜。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟2中，真空度為 10-3Pa ，電流為3000A 。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于南京理工大學，未經南京理工大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010181260.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
