[發明專利]用于低壓氫環境下的膜分離型痕量氣體探測裝置

在審

• 申請號: 202010180654.2
• 申請日: 2020-03-16
• 公開（公告）號: CN111289604A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 白冰;王軍偉;張磊;韓瀟;劉然;邵靜怡;劉洋洋
• 申請（專利權）人: 北京衛星環境工程研究所
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.用于低壓氫環境下的膜分離型痕量氣體探測裝置，由四極質譜儀、測試腔、膜片腔、真空泵系統組成，測試腔的入口用于設置在待測環境中，測試腔通過膜片腔與真空泵系統連通，且測試腔還另外與四極質譜儀連通，其中，膜片腔內設置有氫氣分離膜，通過真空泵系統的抽氣使得待測氣體經過入口不斷進入測試腔內，氫氣分子通過復合膜離開測試腔，而雜質氣體在測試腔中濃度不斷增加，最后通過四極質譜儀對測試腔腔內的雜質氣體的成分進行探測。

2.如權利要求1所述的膜分離型痕量氣體探測裝置，其中，測試腔為Ф100mm×180mm的圓筒結構，選用不銹鋼材料制造，表面進行拋光處理。

3.如權利要求1所述的膜分離型痕量氣體探測裝置，其中，測試腔的容器壁上設置有連通膜片腔的接口以及連通質譜儀的接口，接口采用金屬墊圈密封。

4.如權利要求1-3任一項所述的膜分離型痕量氣體探測裝置，其中，測試腔的入口做真空穿艙設計，通過待測設備的真空容器放入低氣壓氫環境中。

5.如權利要求1-3任一項所述的膜分離型痕量氣體探測裝置，其中，氫氣分離膜的面積要足夠大，使得從測試腔抽出的氫氣完全通過復合膜。

6.如權利要求1-3任一項所述的膜分離型痕量氣體探測裝置，其中，四極質譜儀的探頭放置在測試腔內，實現對測試腔內氣體的測量。

7.如權利要求1-3任一項所述的膜分離型痕量氣體探測裝置，其中，真空泵系統采用分子泵作為主泵，螺桿干泵進行預抽真空的組合抽氣方式，輔以超高真空閥門組成無油真空系統，實現優于1.0×10^-8 Pa的超高真空，并具有足夠的抽速。

8.如權利要求1-3任一項所述的膜分離型痕量氣體探測裝置，其中，膜片腔與真空泵系統之間的連通管路上設置真空規，以測量真空泵組進口的壓力。

9.如權利要求1-3任一項所述的膜分離型痕量氣體探測裝置，其中,氫氣分子膜為聚酰亞胺或醋酸纖維膜。