[發明專利]高精密度化學品配比定容器

在審

• 申請號: 202010177131.2
• 申請日: 2020-03-13
• 公開（公告）號: CN111229116A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 鄭圣弘
• 申請（專利權）人: 深圳融科科技有限公司
• 主分類號: B01F15/04
• 分類號: B01F15/04
• 代理公司: 北京久維律師事務所 11582
• 代理人: 邢江峰

本發明公開了高精密度化學品配比定容器，包括容器本體，容器本體包括進液段、出液段以及設于進液段和出液段之間的中間連接段，進液段的下方設有進液端口，其中進液口端通過管路連接有三向氣動閥三，且三向氣動閥三和原液進口之間的管路上設有氣動閥一，三向氣動閥三和原液出口之間的管路上設有氣動閥二，出液段的頂部設有出液端口，其中出液端口通過管路連接有三向氣動閥四，且出液端口和三向氣動閥四之間的管路上設有液位傳感器，氮氣入口和三向氣動閥四之間的管路上設有氣動閥五。本發明設計合理，結構簡單，通過增減中間連接段的數量來調節容器本體的容積，以滿足不同使用需求，工藝過程簡單，出錯率低，具有推廣價值。

技術領域

本發明屬于定容裝置技術領域，具體涉及高精密度化學品配比定容器。

背景技術

微電子行業的純化學品及帶顆粒(abrasives)的化學品(研磨液，噴砂液，切割液，拋光液等等)，時常因為包裝運輸方便及工藝需求，需做精密配比。如顯影劑中，時常需要精密的濃度配比(如TMAH 2.38％+-0.002％)，還有研磨液中的W2000鎢導線研磨液及銅導線研磨液，需配置過氧化氫2.2％+-0.05類似范圍的濃度等等。這些精密配比中，原液的輸入的允許誤差常在配比槽的磅秤精準度范圍以外甚多，也就是說必須精密到小到一克甚至一克以下的范圍。現有的定容裝置工藝過程復雜，涉及工具種類繁多，過程繁瑣，極易出錯，出錯后帶來經濟損失極大，對檢測和科學研究的質量管理帶來嚴峻的挑戰。

發明內容

本發明的目的在于提供高精密度化學品配比定容器，以解決上述背景技術中所提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供以下技術方案：高精密度化學品配比定容器，其結構要點在于：包括容器本體，容器本體包括進液段、出液段以及設于進液段和出液段之間的中間連接段，且進液段、中間連接段和出液段之間密封連接，進液段的下方設有進液端口，其中進液口端通過管路連接有三向氣動閥三，三向氣動閥三通過管路分別連接有原液進口和原液出口，且三向氣動閥三和原液進口之間的管路上設有氣動閥一，三向氣動閥三和原液出口之間的管路上設有氣動閥二，出液段的頂部設有出液端口，其中出液端口通過管路連接有三向氣動閥四，三向氣動閥四通過管路分別連接有溢液端口和氮氣入口，且出液端口和三向氣動閥四之間的管路上設有液位傳感器，氮氣入口和三向氣動閥四之間的管路上設有氣動閥五。

作為優選的，容器本體外部設有控制器，且控制器分別與氣動閥一、氣動閥二、三向氣動閥三、三向氣動閥四、液位傳感器和氣動閥五相連接。

作為優選的，進液段、中間連接段和出液段之間通過螺紋結構密封連接，且進液段、中間連接段和出液段之間設有密封膠圈。

作為優選的，進液段和出液段的結構一致，且進液段和出液段的內部均呈錐形結構。

作為優選的，中間連接段至少為一個，且中間連接段呈圓筒狀結構。

作為優選的，原液進口與原液桶相連接。

作為優選的，氮氣入口與氮氣氣源相連接。

與現有技術相比，本發明設計合理，結構簡單，拆裝方便，通過增減中間連接段的數量來調節容器本體的容積，以滿足不同使用需求，工藝過程簡單，出錯率低，具有推廣價值。

附圖說明

圖1為本發明的整體結構示意圖；

圖2為本發明容器本體的內部結構示意圖；

圖3為本發明容器本體的分解結構示意圖；

圖中：1-容器本體，2-進液段，3-出液段，4-中間連接段，5-進液端口，6-原液進口，7-原液出口，8-氣動閥一，9-氣動閥二，10-三向氣動閥三，11-溢液端口，12-溢液端口，13-氮氣入口，14-三向氣動閥四，15-液位傳感器，16-氣動閥五。

具體實施方式