[發(fā)明專(zhuān)利]一種高濕度N2產(chǎn)生器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010177129.5
• 申請(qǐng)日: 2020-03-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111203119A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭圣弘
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳融科科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B01F3/04
• 分類(lèi)號(hào): B01F3/04;B01F15/02
• 代理公司: 北京久維律師事務(wù)所 11582
• 代理人: 邢江峰

本發(fā)明公開(kāi)了一種高濕度N2產(chǎn)生器，包括水腔、氣液匯流器、霧化腔、霧氣導(dǎo)出器；水腔內(nèi)安裝有進(jìn)水管，且進(jìn)水管上安裝有液位傳感器用于水位低位進(jìn)水補(bǔ)給警示；氣液匯流器的頂部設(shè)有霧化帽，霧化帽位于霧化腔內(nèi)，氣液匯流器的底部設(shè)有若干與水腔相連通的進(jìn)液孔和回流孔，氣液匯流器的側(cè)面設(shè)有溢流口和氮?dú)馊肟冢混F氣導(dǎo)出器設(shè)有導(dǎo)出管，導(dǎo)出管的上端為濕氮出口，導(dǎo)出管的下端伸入至霧化腔內(nèi)部，且導(dǎo)出管下端的側(cè)面開(kāi)設(shè)有數(shù)個(gè)與霧化腔相連通的孔道。本發(fā)明設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，可以提供高濕度的氮?dú)猓⒂行Э刂频獨(dú)鉂穸龋瑵M(mǎn)足使用需要，穩(wěn)定性高，有效保證裝置的穩(wěn)定度及耐久性，在水腔內(nèi)的水不夠時(shí)，能夠自動(dòng)控制進(jìn)水，在過(guò)水時(shí)能夠自動(dòng)溢出做警示，具有推廣價(jià)值。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于加濕裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高濕度N2產(chǎn)生器。

背景技術(shù)

微電子行業(yè)帶顆粒(abrasives)的化學(xué)品(研磨液，噴砂液，切割液，拋光液等等)，為免使用中沉降液面時(shí)在容器側(cè)邊因液體稀薄，同時(shí)因?yàn)橐话惴乐刮廴緯?huì)用氮?dú)庾龅?且氮?dú)庖话愣际?9.99％干燥的；為防沉降液體面在容器表面析出顆粒(abrasives)/研磨砥粒，這些顆粒大部份在10-2000nm范圍內(nèi)，因?yàn)閂an DerWarr力周邊電位改變，會(huì)使得這些干燥顆粒聚集，等再落下到液面內(nèi)時(shí)，會(huì)形成大顆粒沉積，這會(huì)改變這液體本來(lái)的顆粒分布，甚至?xí)斐裳心?拋光(lapping,polishing)的刮痕，缺失，及研磨率不均勻。同時(shí)，氮?dú)饧訚衿饔直仨毧刂茲穸龋膊辉试S氮?dú)鉂駳獬恋淼揭后w內(nèi)稀釋液體，造成化學(xué)品的濃度變化。必須是微細(xì)霧狀的微粒噴出(1μm內(nèi))，RH(相對(duì)濕度)要求在95～99％RH高度濕氣范圍，現(xiàn)有的氮?dú)饧訚裱b置具有局限性，無(wú)法滿(mǎn)足使用需要。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種高濕度N2產(chǎn)生器，以解決上述背景技術(shù)中所提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案：一種高濕度N2產(chǎn)生器，其結(jié)構(gòu)要點(diǎn)在于：包括：

水腔，水腔內(nèi)安裝有進(jìn)水管，且進(jìn)水管上安裝有液位傳感器；

氣液匯流器，氣液匯流器設(shè)于水腔的上方，且水腔和氣液匯流器之間通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)可拆卸連接，氣液匯流器的頂部設(shè)有霧化帽，且霧化帽設(shè)有霧化細(xì)孔，氣液匯流器的底部設(shè)有與水腔相連通的回流孔，氣液匯流器的側(cè)面設(shè)有溢流口和氮?dú)馊肟冢?/p>

霧化腔，霧化腔設(shè)于氣液匯流器上方，且氣液匯流器和霧化腔之間通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)可拆卸連接，霧化帽位于霧化腔內(nèi)部；

霧氣導(dǎo)出器，霧氣導(dǎo)出器設(shè)于霧化腔上方，且霧化腔和霧氣導(dǎo)出器之間通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)可拆卸連接，霧氣導(dǎo)出器設(shè)有導(dǎo)出管，導(dǎo)出管的上端為濕氮出口，導(dǎo)出管的下端伸入至霧化腔內(nèi)部，且導(dǎo)出管下端的側(cè)面開(kāi)設(shè)有數(shù)個(gè)與霧化腔相連通的孔道。

作為優(yōu)選的，水腔和氣液匯流器的連接處設(shè)有密封圈。

作為優(yōu)選的，氣液匯流器和霧化腔的連接處設(shè)有密封圈。

作為優(yōu)選的，霧化腔和霧氣導(dǎo)出器的連接處設(shè)有密封圈。

作為優(yōu)選的，霧化細(xì)孔的內(nèi)直徑為0.5～3.0mm。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，可以提供高濕度的氮?dú)猓⒂行Э刂频獨(dú)鉂穸龋瑵M(mǎn)足使用需要，穩(wěn)定性高，有效保證裝置的穩(wěn)定度及耐久性，在水腔內(nèi)的水不夠時(shí)，能夠自動(dòng)控制進(jìn)水，在過(guò)水時(shí)能夠自動(dòng)溢出做警示，具有推廣價(jià)值。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的分解結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的整體內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-水腔，2-進(jìn)水管，3-液位傳感器，4-氣液匯流器，5-霧化帽，6-回流孔，7-溢流口，8-氮?dú)馊肟冢?-霧化腔，10-霧氣導(dǎo)出器，11-導(dǎo)出管，12-濕氮出口，13-孔道，14-密封圈，15-霧化細(xì)孔。