[發明專利]一種銀蒸發料的清洗方法

在審

• 申請號: 202010176551.9
• 申請日: 2020-03-13
• 公開（公告）號: CN111334809A
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;慕二龍
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23G1/20
• 分類號: C23G1/20;C23G5/032
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種銀蒸發料的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步驟：

1)使用含有雙氧水-氨水混合液對待清洗的銀蒸發料進行清洗；

2)使用IPA液對經步驟1)清洗后的銀蒸發料進行清洗；

3)使用純水對經步驟2)清洗后的銀蒸發料進行清洗。

2.根據權利要求1所述的清洗方法，其特征在于，步驟1)中，所述雙氧水-氨水混合液中雙氧水與氨水的體積比為(1～3):(5～7)。

3.根據權利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，步驟1)中，所述清洗是在自動旋轉清洗槽中進行的；

優選地，所述銀蒸發料的銀的純度為≥99.9％。

4.根據權利要求1-3之一所述的清洗方法，其特征在于，步驟1)中，所述清洗的時間為1～3min。

5.根據權利要求1-4之一所述的清洗方法，其特征在于，步驟2)中，所述IPA液清洗為超聲清洗，所述超聲清洗的時間為10～15min。

6.根據權利要求1-5之一所述的清洗方法，其特征在于，步驟3)中，所述純水清洗的時間為5～10min。

7.根據權利要求1-6之一所述的清洗方法，其特征在于，所述步驟3)后還包括步驟4)，將經步驟3)清洗后的銀蒸發料進行干燥。

8.根據權利要求7所述的清洗方法，其特征在于，步驟4)中，所述干燥是真空干燥；

優選地，所述真空干燥的溫度為60～80℃，所述真空干燥的時間為60～80min，所述真空干燥的真空度為0.01MPa以下。

9.根據權利要求7或8所述的清洗方法，其特征在于，所述步驟4)真空干燥后還包括將銀蒸發料抽真空包裝的步驟。

10.根據權利要求1-9之一所述的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步驟：

1)將待清洗的銀蒸發料放入含有雙氧水與氨水的體積比為(1～3):(5～7)的雙氧水-氨水混合液的自動旋轉清洗槽中清洗1～3min；

2)將經步驟1)清洗后的銀蒸發料轉移至IPA液槽中超聲清洗10～15min；

3)將經步驟2)清洗后的銀蒸發料轉移至純水槽中清洗5～10min；

4)將經步驟3)清洗后的銀蒸發料放在真空干燥箱，真空度為0.01MPa以下、60～80℃真空干燥60～80min，抽真空包裝。