[發(fā)明專利]機械手

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010175696.7
• 申請日: 2020-03-13
• 公開（公告）號: CN111348427B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許璐;趙宏宇
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B65G47/90;B25J11/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種機械手，用于抓取晶圓，其特征在于，包括機械手本體、手指、固定鏟爪及活動鏟爪；

所述手指與所述機械手本體連接；

所述固定鏟爪設(shè)置于所述手指上，與所述手指固定連接，且所述固定鏟爪位于所述機械手本體的遠端；所述固定鏟爪用于從所述晶圓的一側(cè)將所述晶圓鏟起；

所述活動鏟爪活動設(shè)置于所述手指上，與所述機械手本體活動連接，且所述活動鏟爪位于所述機械手本體的近端；

所述活動鏟爪用于在所述晶圓的一側(cè)被固定鏟爪鏟起之后，移動至所述晶圓的另一邊緣，將所述晶圓的另一邊緣鏟起，并與所述固定鏟爪相配合，將所述晶圓卡固；

所述固定鏟爪及所述活動鏟爪分別位于所述晶圓的相對兩側(cè)。

2.如權(quán)利要求1所述的機械手，其特征在于，所述機械手包括兩個手指；每個所述手指的指尖端設(shè)置有一所述固定鏟爪；并且兩個所述活動鏟爪并列設(shè)置于兩個所述手指之間的根部位置。

3.如權(quán)利要求1所述的機械手，其特征在于，所述固定鏟爪包括有限位部，用于在所述機械手的帶動下與所述晶圓的邊緣卡合；所述活動鏟爪包括有夾持部，且所述夾持部的開口與所述限位部的開口相對設(shè)置。

4.如權(quán)利要求3所述的機械手，其特征在于，所述固定鏟爪包括頂?shù)謮K、主導片及副導片；

所述頂?shù)謮K設(shè)置于所述手指上，所述主導片及副導片的一端分別與所述頂?shù)謮K連接，另一端沿所述晶圓軸向延伸；所述主導片及副導片與所述頂?shù)謮K配合形成所述限位部；

且所述主導片與所述副導片相對設(shè)置；

所述主導片及所述副導片用于將所述晶圓導入所述限位部內(nèi)。

5.如權(quán)利要求4所述的機械手，其特征在于，所述頂?shù)謮K與所述晶圓的外周面接觸，用于向所述晶圓施加作用力；所述主導片及所述副導片的延伸方向上均設(shè)置第一凸棱，兩個所述第一凸棱分別與所述晶圓正反面線接觸，用于將所述晶圓導入所述限位部內(nèi)。

6.如權(quán)利要求5所述的機械手，其特征在于，沿所述限位部的開口至根部方向，兩個所述第一凸棱的間距逐漸變小。

7.如權(quán)利要求3所述的機械手，其特征在于，所述活動鏟爪還包括有活動板、上導片、下導片、頂輪及伸縮機構(gòu)，所述活動板通過所述伸縮機構(gòu)設(shè)置于所述機械手本體上，所述上導片及下導片與所述活動板連接，另一端沿所述晶圓徑向延伸，所述頂輪可旋轉(zhuǎn)設(shè)置于所述上導片及下導片之間，且所述頂輪外周面與所述上導片及下導片共同構(gòu)成所述夾持部。

8.如權(quán)利要求7所述的機械手，其特征在于，所述頂輪的外周面能與所述晶圓的外周面滾動接觸，用于向所述晶圓施加作用力；所述上導片及所述下導片的延伸方向均設(shè)置有第二凸棱，兩個所述第二凸棱分別與所述晶圓正反面線接觸，用于將所述晶圓導入所述夾持部內(nèi)。

9.如權(quán)利要求8所述的機械手，其特征在于，沿所述夾持部的開口至根部方向，兩個所述第二凸棱的間距逐漸變小。

10.如權(quán)利要求7所述的機械手，其特征在于，所述伸縮機構(gòu)包括電缸、氣缸或者液壓缸結(jié)構(gòu)。

11.如權(quán)利要求1至10的任一所述的機械手，其特征在于，所述機械手還包括有壓片結(jié)構(gòu)，所述壓片結(jié)構(gòu)位于所述固定鏟爪及所述活動鏟爪之間，并且靠近所述活動鏟爪設(shè)置；所述壓片結(jié)構(gòu)包括固定塊及壓板，所述固定塊設(shè)置于所述手指上，所述壓板上形成有與所述手指軸向平行的第三凸棱，所述第三凸棱與所述晶圓表面線接觸。