[發(fā)明專利]三維存儲(chǔ)器及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010175101.8
• 申請(qǐng)日: 2020-03-13
• 公開（公告）號(hào): CN111403406B
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張中
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H10B43/35
• 分類號(hào): H10B43/35;H10B43/27
• 代理公司: 北京漢之知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11479
• 代理人: 高園園

1.一種三維存儲(chǔ)器，其特征在于，所述三維存儲(chǔ)器包括第一塊存儲(chǔ)區(qū)及第二塊存儲(chǔ)區(qū)，所述第一塊存儲(chǔ)區(qū)包括第一核心區(qū)及位于所述第一核心區(qū)中部的第一臺(tái)階區(qū)，所述第二塊存儲(chǔ)區(qū)包括第二核心區(qū)以及位于所述第二核心區(qū)中部的第二臺(tái)階區(qū)，所述第一核心區(qū)與第二核心區(qū)沿第一方向相鄰排布且相互隔離，所述第一臺(tái)階區(qū)與所述第二臺(tái)階區(qū)沿第二方向相鄰排布且相互隔離，其中，所述第一臺(tái)階區(qū)具有沿第一方向延伸至所述第二核心區(qū)內(nèi)部的第一臺(tái)階拓寬部，所述第一臺(tái)階拓寬部通過第一柵線隙與所述第二核心區(qū)隔離；所述第二臺(tái)階區(qū)具有沿第一方向反向延伸至所述第一核心區(qū)內(nèi)部的第二臺(tái)階拓寬部，所述第二臺(tái)階拓寬部通過第二柵線隙與所述第一核心區(qū)隔離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器，其特征在于：所述第一核心區(qū)包括位于所述第一臺(tái)階區(qū)及第二臺(tái)階區(qū)兩端的第一子核心區(qū)及第二子核心區(qū)，所述第一子核心區(qū)與所述第一臺(tái)階區(qū)相連，所述第二核心區(qū)包括位于所述第一臺(tái)階區(qū)及第二臺(tái)階區(qū)兩端的第三子核心區(qū)及第四子核心區(qū)，所述第四子核心區(qū)與所述第二臺(tái)階區(qū)相連；所述第一塊存儲(chǔ)區(qū)還包括同時(shí)位于所述第一臺(tái)階區(qū)遠(yuǎn)離所述第一臺(tái)階拓寬部的一側(cè)、所述第二臺(tái)階區(qū)靠近所述第二臺(tái)階拓寬部一側(cè)的第一橋接墻，所述第一橋接墻連接所述第一臺(tái)階區(qū)、所述第一子核心區(qū)及第二子核心區(qū)，所述第二塊存儲(chǔ)區(qū)還包括同時(shí)位于所述第一臺(tái)階區(qū)靠近第一臺(tái)階拓寬部的一側(cè)、所述第二臺(tái)階區(qū)遠(yuǎn)離所述第二臺(tái)階拓寬部一側(cè)的第二橋接墻，所述第二橋接墻連接所述第二臺(tái)階區(qū)、所述第三子核心區(qū)及第四子核心區(qū)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維存儲(chǔ)器，其特征在于：所述第一子核心區(qū)與所述第三子核心區(qū)通過第一塊間柵線隙隔離，所述第一塊間柵線隙與所述第一柵線隙相連，所述第二子核心區(qū)與所述第四子核心區(qū)通過第二塊間柵線隙隔離，所述第二塊間柵線隙與所述第二柵線隙相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三維存儲(chǔ)器，其特征在于：所述第一臺(tái)階拓寬部延伸至與所述第二橋接墻相鄰，且通過第三柵線隙與所述第二橋接墻隔離，所述第一柵線隙與所述第三柵線隙相連，所述第二臺(tái)階拓寬部延伸至與所述第一橋接墻相鄰，且通過第四柵線隙與所述第一橋接墻隔離，所述第四柵線隙與所述第二柵線隙連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維存儲(chǔ)器，其特征在于：所述第一核心區(qū)及所述第二核心區(qū)均包括多個(gè)指存儲(chǔ)區(qū)，各指存儲(chǔ)區(qū)之間通過指間柵線隙隔離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三維存儲(chǔ)器，其特征在于：延伸至所述第二核心區(qū)內(nèi)部的第一臺(tái)階拓寬部的寬度為所述指存儲(chǔ)區(qū)的寬度的整數(shù)倍。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三維存儲(chǔ)器，其特征在于：所述第一橋接墻及所述第二橋接墻的寬度介于0.5個(gè)所述指存儲(chǔ)區(qū)的寬度至2個(gè)所述指存儲(chǔ)區(qū)的寬度之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器，其特征在于：所述第一臺(tái)階區(qū)及第二臺(tái)階區(qū)的臺(tái)階從各自對(duì)應(yīng)的核心區(qū)朝所述第一臺(tái)階區(qū)及第二臺(tái)階區(qū)之間的隔離帶依次降低，并在所述隔離帶切斷。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器，其特征在于：所述第一方向與所述第二方向相互垂直。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器，其特征在于：所述第一核心區(qū)及第二核心區(qū)包括堆疊結(jié)構(gòu)以及貫穿所述堆疊結(jié)構(gòu)的溝道存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)陣列，所述溝道存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)包括貫穿所述堆疊結(jié)構(gòu)的溝道孔及位于所述溝道孔中的存儲(chǔ)器膜及溝道層。