[發明專利]良率分析的方法、裝置和計算機可讀存儲介質

有效

• 申請號: 202010172049.0
• 申請日: 2020-03-12
• 公開（公告）號: CN111353082B
• 公開（公告）日: 2023-10-13
• 發明（設計）人: 請求不公布姓名
• 申請（專利權）人: 全芯智造技術有限公司
• 主分類號: G06F16/93
• 分類號: G06F16/93;G06F18/22
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 李興斌

本公開的實施例涉及良率分析的方法、裝置和計算機可讀存儲介質。該方法包括：提取低良率晶圓數據的至少一個特征，所述至少一個特征與低良率案件檔案庫中的至少一個特征相對應；基于所述至少一個特征，確定所述低良率晶圓數據與所述低良率案件檔案庫中的低良率案件的相似度；基于所述相似度，確定所述低良率檔案庫中與所述低良率晶圓數據匹配的特定低良率案件；以及獲取與所述特定低良率案件相關的檔案信息，以指導對所述低良率晶圓數據的分析。

技術領域

本公開的實施例一般地涉及芯片制造領域，并且更具體地涉及良率分析的方法、裝置和計算機可讀存儲介質。

背景技術

為了高效率的分析良率的產生原因，生產單位往往會建立有關良率案件的檔案庫，將歷史的低良率案件進行存儲，以供其他用戶在有需求的情況下進行查看。

通常，通過關鍵字對檔案庫中的低良率案件進行搜索，獲得對應的案件以后，用戶通過讀取案件信息進行人為的比對和判斷。通常通過有經驗的案件負責人，經過仔細研判后，可能會找到對破案有啟發的靈感。

然而，在這種方案中，整個流程高度依賴于案件負責人，例如，案件負責人是否知曉該案件庫，是否愿意、熟悉使用該案件庫等。當索引到一些可能的類似案件時，案件負責人的耐心、敏感度、分析研判等各種能力決定了該案件庫對他的幫助程度。由于整個閱讀、研判過程需要耗費時間和腦力，而案件負責人是否能從里面獲得靈感還是未知數，因此該做法有高度的不確定性、投入回報率很低。

發明內容

本公開的實施例提供了良率分析的方法、裝置和計算機可讀存儲介質。

在第一方面，提供了一種良率分析方法。該方法包括：提取低良率晶圓數據的至少一個特征，所述至少一個特征與低良率案件檔案庫中的低良率案件的至少一個特征相對應；基于所述至少一個特征，確定所述低良率晶圓數據與所述低良率案件檔案庫中的低良率案件的相似度；基于所述相似度，確定所述低良率檔案庫中與所述低良率晶圓數據匹配的特定低良率案件；以及獲取與所述特定低良率案件相關的檔案信息，以指導對所述低良率晶圓數據的分析。

在一些實施例中，所述至少一個特征包括多個特征，并且確定所述相似度包括：比較所述低良率晶圓數據的各個特征與所述低良率案件檔案庫中的低良率案件的相應特征，以確定所述低良率晶圓數據與所述低良率案件檔案庫中的低良率案件的各個特征相似度；以及對所述各個特征相似度進行加權平均，以確定所述相似度。

在一些實施例中，所述至少一個特征包括以下特征中的一項或多項：第一特征，其表示失效芯片在晶圓上的分布圖形；第二特征，其表示失效晶圓在整批中的規律；第三特征，其表示失效晶圓的Bin的定義；以及第四特征，其表示失效晶圓的電性特征。

在一些實施例中，所述至少一個特征包括所述第一特征，并且確定所述相似度包括：在允許旋轉和放大的情況下，確定第一失效圖形與第二失效圖形之間的最大重疊率，其中，所述第一失效圖形為所述低良率晶圓數據中的晶圓上的失效圖形，所述第二失效圖形為所述低良率案件檔案庫中的低良率案件的晶圓上的失效圖形，并根據所述最大重疊率確定所述第一特征的特征相似度。

在一些實施例中，確定所述最大重疊率包括：確定所述第一失效圖形與所述第二失效圖形中的面積較小圖形和面積較大圖形；迭代執行以下步驟：將所述面積較小圖形繞圓心旋轉；以所述面積較小圖形的圓心為固定點，放大所述面積較小圖形；以及確定放大后的面積較小圖形與所述面積較大圖形的重疊率，以所述重疊率達到最大時停止放大；以及確定所述重疊率中的最大值，以作為所述最大重疊率。

在一些實施例中，所述至少一個特征包括所述第一特征，并且確定所述相似度包括：通過圖像識別來確定針對所述第一特征的特征相似度。

在一些實施例中，所述至少一個特征包括所述第二特征，其中所述第二特征以字符陣列來表示，所述字符陣列中的每個字符指示相應晶圓是否失效，并且確定所述相似度包括：基于所述字符陣列的相似度，確定針對所述第二特征的特征相似度。