[發(fā)明專利]一種高精度熱重分析儀

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010171514.9
• 申請日: 2020-03-12
• 公開（公告）號: CN111351733A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許鵬程;李昕欣;于海濤;姚方蘭;楊家林
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
• 主分類號: G01N5/04
• 分類號: G01N5/04
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;賈允

1.一種高精度熱重分析儀，其特征在于：包括集成式諧振懸臂梁(2)、樣品測試腔(1)、氣體倉(3)和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)(4)；

所述集成式諧振懸臂梁(2)設(shè)于所述樣品測試腔(1)內(nèi)，所述集成式諧振懸臂梁(2)與所述樣品測試腔(1)的內(nèi)壁、所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)(4)連接，所述集成式諧振懸臂梁(2)用于對待測樣品稱重和加熱；

所述集成式諧振懸臂梁(2)包括諧振懸臂梁(21)和加熱元件(22)；

所述諧振懸臂梁(21)包括第一端(211)；

所述第一端(211)設(shè)有所述加熱元件(22)，所述加熱元件(22)用于加熱所述待測樣品；

所述氣體倉(3)位于所述樣品測試腔(1)的外部，所述氣體倉(3)用于給所述樣品測試腔(1)提供氣體氛圍。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度熱重分析儀，其特征在于：所述集成式諧振懸臂梁(2)還包括控制電路(23)；

所述諧振懸臂梁(21)還包括第二端(212)；

所述第二端(212)與所述樣品測試腔(1)的內(nèi)壁連接；

所述第二端(212)設(shè)有所述控制電路(23)，所述控制電路(23)的一端與所述加熱元件(22)連接，所述控制電路(23)的另一端與所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)(4)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高精度熱重分析儀，其特征在于：所述控制電路(23)包括諧振驅(qū)動電路(231)和頻率檢測電路(232)；

所述諧振驅(qū)動電路(231)用于驅(qū)動所述集成式諧振懸臂梁(2)產(chǎn)生諧振頻率；

所述頻率檢測電路(232)用于檢測所述集成式諧振懸臂梁(2)的諧振頻率；

所述諧振驅(qū)動電路(231)和所述頻率檢測電路(232)能夠形成閉環(huán)回路，實現(xiàn)對所述集成式諧振懸臂梁(2)的諧振驅(qū)動和諧振頻率的檢測。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高精度熱重分析儀，其特征在于：所述控制電路(23)包括溫度控制電路(233)；

所述溫度控制電路(233)與所述加熱元件(22)連接，用于控制所述加熱元件(22)的溫度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度熱重分析儀，其特征在于：所述加熱元件(22)的加熱溫度范圍為25℃～1300℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度熱重分析儀，其特征在于：所述加熱元件(22)上設(shè)有樣品涂覆區(qū)域(24)，所述樣品涂覆區(qū)域(24)用于涂覆待測樣品。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度熱重分析儀，其特征在于：所述集成式諧振懸臂梁(2)能夠通過所述諧振懸臂梁(21)的諧振頻率變化計量所述待測樣品在加熱過程中的質(zhì)量變化。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度熱重分析儀，其特征在于：所述集成式諧振懸臂梁(2)測量所述待測樣品的質(zhì)量范圍為10^-12～10⁶克。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度熱重分析儀，其特征在于：所述氣體倉(3)包括空氣倉、氮氣倉或者氬氣倉。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度熱重分析儀，其特征在于：還包括真空泵(5)；

所述真空泵(5)與所述樣品測試腔(1)連接。