[發明專利]一種顯示面板及其制備方法、顯示裝置在審
| 申請號: | 202010170568.3 | 申請日: | 2020-03-12 |
| 公開(公告)號: | CN111370590A | 公開(公告)日: | 2020-07-03 |
| 發明(設計)人: | 陳小童 | 申請(專利權)人: | 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/52 | 分類號: | H01L51/52;H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
| 地址: | 518132 廣東省深*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 顯示 面板 及其 制備 方法 顯示裝置 | ||
1.一種顯示面板,其特征在于,定義有像素區,包括:
基板;
薄膜晶體管層,設置于所述基板上;
平坦層,設置于所述薄膜晶體管層上;
凹槽,設置于所述平坦層遠離所述薄膜晶體管層的一側的表面上,且與所述像素區對應設置;
第一過孔,貫穿所述平坦層直至所述薄膜晶體管層;
陽極層,設置于所述凹槽和所述第一過孔內,并延伸至所述平坦層表面;以及
像素定義層,設置于所述凹槽的內側壁及所述第一過孔內壁的陽極層上,且延伸至所述平坦層的表面。
2.根據權利要求1所述的顯示面板,其特征在于,還包括:
發光層,設置于所述凹槽底面的陽極層表面;以及
陰極層,設置于所述發光層上。
3.根據權利要求1所述的顯示面板,其特征在于,所述薄膜晶體管層包括:
有源層,設置于所述基板上;
絕緣層,設置于所述有源層上,并延伸至所述基板上;
柵極層,設置于所述絕緣層上;
鈍化層,設置于所述柵極層上;
第二過孔,貫穿所述鈍化層直至所述有源層遠離所述基板的一側的表面;以及
源漏極層,設置于所述第二過孔內,且連接至所述有源層;
其中,所述第一過孔貫穿所述平坦層直至所述源漏極層遠離所述基板的一側的表面。
4.根據權利要求1所述的顯示面板,其特征在于,所述陽極層的材質包括導電金屬、導電氧化物、導電合金中的一種或多種。
5.根據權利要求1所述的顯示面板,其特征在于,所述像素定義層的材質為有機光阻材料。
6.一種顯示面板的制備方法,其特征在于,所述顯示面板定義有像素區,所述顯示面板的制備方法包括如下步驟:
提供一基板;
在所述基板上制備薄膜晶體管層;
在所述薄膜晶體管層上制備平坦層;
在所述平坦層上形成凹槽和第一過孔;所述凹槽設置于所述平坦層遠離所述薄膜晶體管層的一側的表面上,且與所述像素區對應設置;所述第一過孔貫穿所述平坦層直至所述薄膜晶體管層;
在所述凹槽和所述第一過孔內制備陽極層,且延伸至所述平坦層表面;以及
在所述凹槽的內側壁及所述第一過孔內壁的陽極層上制備像素定義層,且延伸至所述平坦層的表面。
7.根據權利要求6所述的顯示面板的制備方法,其特征在于,在所述平坦層上形成凹槽和第一過孔的步驟中,通過半色調掩膜工藝在所述平坦層上形成凹槽和第一過孔。
8.根據權利要求6所述的顯示面板的制備方法,其特征在于,在所述凹槽和所述第一過孔內制備陽極層的步驟中,通過物理氣相沉積法在所述凹槽和所述第一過孔內制備陽極層。
9.根據權利要求6所述的顯示面板的制備方法,其特征在于,還包括如下步驟:
在所述凹槽底面的陽極層表面制備發光層;以及
在所述發光層上制備陰極層。
10.一種顯示裝置,包括權利要求1-5中任一項所述的顯示面板。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
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H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
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H01L51-54 .. 材料選擇





