[發(fā)明專利]玻璃基板涂布方法及玻璃基板涂布裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010170512.8 | 申請日: | 2020-03-12 |
| 公開(公告)號: | CN111187008B | 公開(公告)日: | 2022-04-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王松 | 申請(專利權(quán))人: | TCL華星光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | C03C17/00 | 分類號: | C03C17/00 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 玻璃 基板涂布 方法 裝置 | ||
1.一種玻璃基板涂布方法,其特征在于:所述玻璃基板涂布方法包括︰
裝置提供步驟,提供玻璃基板涂布裝置,其中所述玻璃基板涂布裝置包括載臺、兩擴(kuò)展板、以及涂布頭,其中兩所述擴(kuò)展板分別設(shè)置在所述載臺兩側(cè),各所述擴(kuò)展板可移動、轉(zhuǎn)動或是同時(shí)移動與轉(zhuǎn)動以靠近或遠(yuǎn)離所述載臺,所述涂布頭設(shè)置在所述載臺的起始側(cè)上方且相距所述載臺一距離,其中所述涂布頭內(nèi)盛載有涂布劑;
玻璃基板設(shè)置步驟,設(shè)置玻璃基板到所述載臺上,其中所述玻璃基板具有起始側(cè)以及結(jié)束側(cè);
擴(kuò)展板并攏步驟,將兩所述擴(kuò)展板分別移動到鄰接所述玻璃基板的所述起始側(cè)以及所述結(jié)束側(cè);
涂布步驟,驅(qū)動所述涂布頭沿著所述玻璃基板的所述起始側(cè)到所述結(jié)束側(cè)的方向涂布所述涂布劑到兩所述擴(kuò)展部以及所述玻璃基板上以形成涂布層,其中所述涂布層具有分別位于兩所述擴(kuò)展部上的起始部以及結(jié)束部以及介于所述起始部以及所述結(jié)束部之間的均厚部;以及
擴(kuò)展板移除步驟,包括移除兩所述擴(kuò)展板并同時(shí)移除所述涂布層的所述起始部以及結(jié)束部而僅留下所述均厚部在所述玻璃基板上,以完成涂布。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板涂布方法,其特征在于:各所述擴(kuò)展板具有遠(yuǎn)離所述載臺的基部以及與所述基部連接且靠近所述載臺的漸縮部,且所述漸縮部的垂直截面朝向所述載臺逐漸縮窄以在所述漸縮部頂面形成斜坡;在所述涂布步驟中,所述涂布層的所述起始部以及所述結(jié)束部分別涂布在兩所述擴(kuò)展板的兩所述漸縮部上。
3.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板涂布方法,其特征在于:所述起始部以及所述結(jié)束部分別對應(yīng)所述玻璃基板的所述起始側(cè)以及所述結(jié)束側(cè)。
4.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板涂布方法,其特征在于:在所述擴(kuò)展板移除步驟中,各所述擴(kuò)展板是朝遠(yuǎn)離所述玻璃基板的方向移動或是轉(zhuǎn)動以將所述涂布層的所述起始部及所述結(jié)束部自所述均厚部分離。
5.如權(quán)利要求2所述的玻璃基板涂布方法,其特征在于:在所述擴(kuò)展板移除步驟中,各所述擴(kuò)展板是移動或轉(zhuǎn)動以抬起所述漸縮部抬起并使所述漸縮部遠(yuǎn)離所述玻璃基板的方向移動或是轉(zhuǎn)動,以將所述涂布層的所述起始部及所述結(jié)束部自所述均厚部分離。
6.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板涂布方法,其特征在于:所述涂布頭內(nèi)的涂布劑為光阻劑。
7.一種玻璃基板涂布裝置,其特征在于:所述玻璃基板涂布裝置包括載臺、兩擴(kuò)展板、以及涂布頭,其中兩所述擴(kuò)展板分別設(shè)置在載臺兩側(cè),各所述擴(kuò)展板可移動、轉(zhuǎn)動或是同時(shí)移動與轉(zhuǎn)動以靠近或遠(yuǎn)離所述載臺,所述涂布頭設(shè)置在所述載臺的起始側(cè)上方且相距所述載臺一距離,其中所述涂布頭內(nèi)盛載有涂布劑。
8.如權(quán)利要求7所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于:各所述擴(kuò)展板具有遠(yuǎn)離所述載臺的基部以及與所述基部連接且靠近所述載臺的漸縮部,且所述漸縮部的垂直截面朝向所述載臺逐漸縮窄以在所述漸縮部頂面形成斜坡。
9.如權(quán)利要求7所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于:各所述擴(kuò)展板可朝遠(yuǎn)離所述載臺的方向移動或是轉(zhuǎn)動。
10.如權(quán)利要求8所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于:在所述擴(kuò)展板移除步驟中,各所述擴(kuò)展板可移動或轉(zhuǎn)動以抬起所述漸縮部抬起并使所述漸縮部遠(yuǎn)離所述載臺的方向移動或是轉(zhuǎn)動。
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