[發明專利]帶電粒子束裝置

在審

• 申請號: 202010170496.2
• 申請日: 2020-03-12
• 公開（公告）號: CN111696842A
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 村上雄大;根本佳和
• 申請（專利權）人: 日本電子株式會社
• 主分類號: H01J37/28
• 分類號: H01J37/28;H01J37/22
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝;劉寧軍

一種帶電粒子束裝置，其中，拍攝器(30)對由試樣載臺(20)保持的試樣保持器(22)進行拍攝。在拍攝器(30)的前方(對象物側)設置有發光器陣列(32)和掩模陣列(34)。由發光器陣列(32)產生多個光束。多個光束的多個中央部分被掩模陣列(34)遮掩。由此產生的多個陰影被多個光束的多個周邊部分覆蓋。

技術領域

本發明涉及帶電粒子束裝置，特別是涉及具備拍攝器(imaging device)的帶電粒子束(charged particle beam)裝置。

背景技術

作為帶電粒子束裝置，已知掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、離子束照射裝置等。以下，以掃描電子顯微鏡為例，說明其構成。

掃描電子顯微鏡具備保持試樣的試樣保持器以及對其進行拍攝的拍攝器。通過觀察拍攝到的圖像能夠確認試樣的狀態，另外，能在該圖像上指定進行電子束的掃描的部位。還已知具備將拍攝到的圖像與CG(computer graphics；計算機圖形)圖像進行合成而生成表示試樣室(sample chamber)內的試樣保持器的狀態的參考圖像的功能的掃描電子顯微鏡。

拍攝器由相機、透鏡等構成。除了拍攝器，還設置用于將對象物照亮的光源。光源例如由配置在透鏡的周圍的多個發光器構成(參照特許第6335328號公報的圖2)。典型的是，各發光器由LED發光元件構成。

此外，在特開2010-225980號公報的圖1中公開了LED燈。在LED燈的透鏡部的表面設置有作為遮光部發揮功能的涂裝膜。該文獻所公開的LED燈是用于交通信號燈的，而不是用于帶電粒子束裝置。在上述特許第6335328號公報中沒有公開包括多個發光器的光源。

發明內容

發明要解決的問題

在帶電粒子束裝置中，在進行包含試樣的對象物的拍攝的情況下，通常設置多個發光器。在各個發光器使用的是產生收窄的光束的發光器的情況下，容易在對象物的表面上產生閃閃發光的反射部分，也就是產生刺眼的高亮度部分。

具體地進行說明。保持試樣的保持器通常由金屬構成，在其表面會有在其切削過程中產生的許多細條紋也就是加工痕跡(也稱為切削刀痕)。各光束的中央部分的照度非常高，可以想到主要是中央部分在加工痕跡處被反射而產生閃閃發光的反射部分。也可以想到由于加工痕跡以外的因素而產生高亮度部分的情況，另外，還可以想到在試樣的表面產生高亮度部分的情況。不論是哪一種情況，這種高亮度部分都會妨礙對象物的觀察。

本公開的目的在于，在帶電粒子束裝置中，在由來自多個發光器的多個光束對對象物進行照明的情況下，防止或降低對象物表面上的高亮度部分的產生。或者，本公開的目的在于，在帶電粒子束裝置中，通過簡易的構成使由多個發光器形成的光量分布平坦化。

用于解決問題的方案

實施方式的帶電粒子束裝置包含：拍攝器，其對包含試樣的對象物進行拍攝；多個發光器，其朝向上述對象物照射多個光束；以及光分布調整構件，其具備配置在上述對象物與上述多個發光器之間的多個光限制要素。各上述光束包含中央部分和在上述中央部分的外側延展的周邊部分。各上述光限制要素限制各上述光束的上述中央部分的強度。

根據上述構成，由各發光器產生的光束的中央部分被各光限制要素限制。即，中央部分的光量或照度被減弱或者變為零。從而，得以減輕或者防止對象物表面上的高亮度部分的產生。由于是從多個光源對對象物照射多個光束，因此，即使限制各個光束的一部分光量，也能對整個對象物進行照明。即，根據上述構成，能通過簡易的構成使光量分布(或照度分布)平坦化。在上述構成中，光束中受到光限制要素的作用的部分為中央部分，沒有受到光限制要素的作用的部分為周邊部分。各光限制要素是物理上的存在體，也就是物體。