[發明專利]壓電換能器、制備壓電換能器的方法及電子設備

有效

• 申請號: 202010168573.0
• 申請日: 2020-03-12
• 公開（公告）號: CN111063790B
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發明（設計）人: 羅松成;陳昱辰;方維倫
• 申請（專利權）人: 共達電聲股份有限公司
• 主分類號: H01L41/08
• 分類號: H01L41/08;H01L41/04;H04R17/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 史治法

1.一種壓電換能器，其特征在于，包括支撐結構以及設置于所述支撐結構上的壓電振膜；所述壓電振膜包括梁，所述梁在第一方向上的一端由所述支撐結構支撐，另一端為自由端；

所述壓電振膜包括依次層疊設置于所述支撐結構上的第一電極層以及壓電材料層；

其中，所述自由端的壓電材料層的面積小于所述第一電極層的面積；

所述壓電振膜包括至少兩個相對的梁且所述至少兩個相對的梁之間具有縫隙；其中，所述自由端的壓電材料層在所述第一方向的垂直方向上的寬度從兩邊向中心逐漸減小。

2.根據權利要求1所述的壓電換能器，其特征在于，所述自由端的壓電材料層在所述第一方向的垂直方向上的相對兩個側邊至少一邊呈弧形。

3.根據權利要求2所述的壓電換能器，其特征在于，所述自由端的壓電材料層為對稱結構。

4.根據權利要求1所述的壓電換能器，其特征在于，所述壓電振膜還包括設置于所述壓電材料層遠離所述第一電極層一側的第二電極層，所述第一電極層和/或第二電極層的厚度小于所述壓電材料層的厚度。

5.根據權利要求1所述的壓電換能器，其特征在于，所述壓電振膜還包括設置于所述壓電材料層遠離所述第一電極層一側的第二電極層，所述壓電材料層上開設有通孔，以引出所述第一電極層；所述第二電極層包括第二電極以及第一電極引出端；

所述第一電極層包括第一電極，所述第一電極引出端與所述第一電極通過所述壓電材料層上的通孔電連接。

6.根據權利要求1所述的壓電換能器，其特征在于，所述壓電振膜還包括依次層疊設置于所述支撐結構和所述第一電極層之間的柔性薄膜層和/或絕緣層。

7.根據權利要求1所述的壓電換能器，其特征在于，所述支撐結構包括基板以及設置于所述基板上的犧牲層，所述犧牲層與所述壓電振膜相鄰設置；

其中，所述基板和所述犧牲層上開設有背腔以裸露所述自由端。

8.一種制備壓電換能器的方法，其特征在于，所述方法包括：

提供支撐結構；

在所述支撐結構上形成壓電振膜；所述壓電振膜包括依次層疊設置于所述支撐結構上的第一電極層以及壓電材料層；

對所述支撐結構進行刻蝕形成背腔，以裸露部分所述壓電振膜；

在與所述背腔相對位置處于所述壓電振膜上開設縫隙；所述壓電振膜包括梁，所述梁在第一方向上的一端由所述支撐結構支撐，另一端為自由端；

去除部分所述壓電材料層，以使所述自由端的壓電材料層的面積小于所述第一電極層的面積；

所述壓電振膜包括至少兩個相對的梁且所述至少兩個相對的梁之間具有縫隙；其中，所述自由端的壓電材料層在所述第一方向的垂直方向上的寬度從兩邊向中心逐漸減小。

9.根據權利要求8所述的制備壓電換能器的方法，其特征在于，所述自由端的壓電材料層在所述第一方向的垂直方向上的相對兩個側邊為對稱的弧形。

10.一種電子設備，其特征在于，所述電子設備包括如權利要求1至7任一項所述的壓電換能器。