[發明專利]一種皮拉尼真空計系統

在審

• 申請號: 202010168171.0
• 申請日: 2020-03-11
• 公開（公告）號: CN111289173A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 周瓊;傅劍宇;侯影;劉超;陳大鵬
• 申請（專利權）人: 無錫物聯網創新中心有限公司
• 主分類號: G01L21/00
• 分類號: G01L21/00
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良;陳麗麗

1.一種皮拉尼真空計系統，其特征在于，包括：皮拉尼真空計、電壓采集裝置、控制電路和電源裝置，所述電壓采集裝置與所述皮拉尼真空計連接，所述控制電路與所述電壓采集裝置連接，所述電源裝置分別與所述控制電路和所述皮拉尼真空計連接，

所述皮拉尼真空計用于測量真空度并得到與真空度對應的電壓值；

所述電壓采集裝置用于采集所述電壓值；

所述控制電路用于根據所述電壓值得到對應的實際真空度，并將所述實際真空度與真空度閾值比較，得到恒流驅動信號或恒溫驅動信號；

所述電源裝置用于根據所述恒流驅動信號向所述皮拉尼真空計提供恒流源，以及用于根據所述恒溫驅動信號向所述皮拉尼真空計提供恒溫源。

2.根據權利要求1所述的皮拉尼真空計系統，其特征在于，所述電源裝置包括選擇開關單元、恒流源和恒溫源，所述恒流源和所述恒溫源均與所述選擇開關單元連接，且所述恒流源和所述恒溫源均與所述皮拉尼真空計連接，所述選擇開關單元與所述控制電路連接，所述選擇開關單元用于根據所述恒流驅動信號選擇導通所述恒流源，以及用于根據所述恒溫驅動信號選擇導通所述恒溫源。

3.根據權利要求2所述的皮拉尼真空計系統，其特征在于，所述選擇開關單元包括單刀雙擲開關。

4.根據權利要求1所述的皮拉尼真空計系統，其特征在于，所述控制裝置用于在所述實際真空度大于所述真空度閾值時得到所述恒流驅動信號，用于在所述實際真空度小于所述真空度閾值時得到所述恒溫驅動信號。

5.根據權利要求1所述的皮拉尼真空計系統，其特征在于，所述真空度閾值包括所述皮拉尼真空計在恒流和恒溫兩種工作模式下靈敏度相等時的真空度。

6.根據權利要求1所述的皮拉尼真空計系統，其特征在于，所述控制電路包括單片機。

7.根據權利要求1所述的皮拉尼真空計系統，其特征在于，所述電壓采集裝置包括電壓表。

8.根據權利要求1至7中任意一項所述的皮拉尼真空計系統，其特征在于，所述皮拉尼真空計包括：底座、框架、敏感結構、懸臂梁和蓋帽，所述框架固定在所述底座上，所述敏感結構位于所述底座上方，所述懸臂梁的一端與所述框架連接，另一端與所述敏感結構連接，所述蓋帽固定在所述框架上，且位于所述敏感結構上方，所述底座的上表面設置第一金屬薄膜，所述蓋帽與所述敏感結構相對的表面設置第二金屬薄膜，所述懸臂梁包括第一介質層，且所述第一介質層內部嵌有導線，所述導線用于連接所述電源裝置和所述電壓采集裝置。

9.根據權利要求8所述的皮拉尼真空計系統，其特征在于，所述敏感結構包括由第三金屬薄膜、第二介質層和第四金屬薄膜組成的三層結構，且所述第二介質層內部嵌有敏感單元，所述敏感單元連接所述電源裝置。

10.根據權利要求8所述的皮拉尼真空計系統，其特征在于，所述懸臂梁的數量為至少兩根。