[發明專利]一種真空鍍膜夾具

在審

• 申請號: 202010167377.1
• 申請日: 2020-03-11
• 公開（公告）號: CN111254406A
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發明（設計）人: 胡均松
• 申請（專利權）人: 胡均松
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 北京艾皮專利代理有限公司 11777
• 代理人: 郭童瑜

本發明提供了一種真空鍍膜夾具，屬于真空鍍膜技術領域，包括設置在鍍膜室上部并與所述鍍膜室之間通過第一驅動組件相連接的蓋板，所述鍍膜室上臂開設有與所述蓋板相適配的缺口，所述蓋板上開設有若干用于放置靶材的安裝通道，所述蓋板下方設置有支撐板，所述支撐板上部設置有與所述安裝通道對應的支撐塊，所述蓋板底部開設有通道，所述支撐板上方中部通過活動柱延伸至所述通道內部；所述蓋板上部還圍繞所述安裝通道設置有第一凹槽。本發明實施例中，通過第二驅動組件帶動驅動筒沿第一凹槽向下移動，驅動筒帶動夾持塊移動至安裝通道內部，從而從靶材側面對靶材進行夾持，完成靶材的固定，具有夾持效果好的優點，為靶材的鍍膜提供方便。

技術領域

本發明屬于真空鍍膜技術領域，具體是一種真空鍍膜夾具。

背景技術

真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發并凝結于鍍件（金屬、半導體或絕緣體）表面而形成薄膜的一種方法。

真空鍍膜時，需要將靶材固定在鍍膜室內，目前，對于靶材的固定大多是依靠夾具進行的，現有的夾具存在夾持穩定性差以及夾持效果不佳的缺陷，從而不利于靶材的鍍膜。

發明內容

針對上述現有技術的不足，本發明實施例要解決的技術問題是提供一種真空鍍膜夾具。

為解決上述技術問題，本發明提供了如下技術方案：

一種真空鍍膜夾具，包括設置在鍍膜室上部并與所述鍍膜室之間通過第一驅動組件相連接的蓋板，所述鍍膜室上臂開設有與所述蓋板相適配的缺口，所述蓋板上開設有若干用于放置靶材的安裝通道，所述蓋板下方設置有支撐板，所述支撐板上部設置有與所述安裝通道對應的支撐塊，所述蓋板底部開設有通道，所述支撐板上方中部通過活動柱延伸至所述通道內部；所述蓋板上部還圍繞所述安裝通道設置有第一凹槽，所述第一凹槽內部活動設置有驅動筒，所述驅動筒上部延伸至蓋板上方，蓋板上方設置有用于帶動所述驅動筒向下移動的第二驅動組件；所述安裝通道與第一凹槽之間通過若干水平通孔相連，所述水平通孔內活動設置有夾持塊，所述夾持塊朝向第一凹槽的一端以及驅動筒底部均設置有相互適配的斜面。

作為本發明進一步的改進方案：所述第一驅動組件為液壓桿。

作為本發明進一步的改進方案：所述驅動筒側方固定設置有支撐桿，所述蓋板上方中部開設有第二凹槽，所述第二驅動組件包括設置在蓋板上方中部的驅動軸以及設置在所述第二凹槽內部并有外部電機控制轉動的齒輪，所述驅動軸側壁設置有若干與所述齒輪嚙合的齒片，驅動軸側壁上部固定設置有與所述支撐桿相對應的壓桿，所述壓桿焊接在所述支撐桿上部。

作為本發明進一步的改進方案：所述通孔側壁開設有內腔，所述夾持塊外部固定連接有擋板，所述擋板延伸至所述內腔內部，且所述擋板與所述內腔內壁之間通過彈性件相連。

作為本發明再進一步的改進方案：所述彈性件為彈簧。

作為本發明再進一步的改進方案：所述彈性件為彈片。

作為本發明再進一步的改進方案：所述夾持塊朝向安裝通道的一端設置有夾持軟層。

作為本發明再進一步的改進方案：所述夾持軟層采用橡膠材料或者海綿制成。

作為本發明再進一步的改進方案：所述通道內部設置有用于將支撐板固定在蓋板底部的限位組件。

作為本發明再進一步的改進方案：所述限位組件包括固定設置在所述通道內部的第一磁塊，所述活動柱遠離所述支撐板的一端設置有第二磁塊，通過第一磁塊與第二磁塊的相互吸引，可將支撐板固定在蓋板下部。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：

本發明實施例中，通過第二驅動組件帶動驅動筒沿第一凹槽向下移動，驅動筒帶動夾持塊移動至安裝通道內部，從而從靶材側面對靶材進行夾持，完成靶材的固定，具有夾持效果好的優點，為靶材的鍍膜提供方便。