[發明專利]流體控制裝置、流體控制系統、診斷方法和程序記錄介質

在審

• 申請號: 202010165652.6
• 申請日: 2020-03-11
• 公開（公告）號: CN111693230A
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 松本颯太;長井健太郎;今里裕子
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: G01M3/28
• 分類號: G01M3/28;F16K37/00
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李成必;李雪春

1.一種流體控制裝置，其特征在于包括：

流體阻力件，設置于流道；

第一閥，設置于所述流體阻力件的上游側；

第一壓力傳感器，測量所述流道中位于所述第一閥與所述流體阻力件之間的第一容積內的壓力；

第二閥，設置于所述流體阻力件的下游側；

第二壓力傳感器，測量所述流道中位于所述流體阻力件與所述第二閥之間的第二容積的壓力；

閥控制器，控制所述第一閥或所述第二閥；以及

閥座泄漏判斷部，在所述閥控制器使所述第一閥和所述第二閥完全關閉的狀態下，基于所述第一壓力傳感器和所述第二壓力傳感器的各測量壓力，判斷所述第一閥和所述第二閥有無閥座泄漏。

2.根據權利要求1所述的流體控制裝置，其特征在于，所述閥座泄漏判斷部基于所述第一壓力傳感器和所述第二壓力傳感器的測量壓力大致一致以后的所述第一壓力傳感器或所述第二壓力傳感器的測量壓力的變化傾向，判斷所述第一閥和所述第二閥有無閥座泄漏。

3.根據權利要求2所述的流體控制裝置，其特征在于，在所述第一壓力傳感器或所述第二壓力傳感器的測量壓力上升的情況下，所述閥座泄漏判斷部判斷為在所述第一閥中發生了閥座泄漏。

4.根據權利要求2所述的流體控制裝置，其特征在于，在所述第一壓力傳感器或所述第二壓力傳感器的測量壓力下降的情況下，所述閥座泄漏判斷部判斷為在所述第二閥中發生了閥座泄漏。

5.根據權利要求1所述的流體控制裝置，其特征在于，還包括診斷部，所述診斷部在所述閥控制器使所述第一閥完全關閉并使所述第二閥打開的狀態下，基于所述第二壓力傳感器的測量壓力及其時間變化率對所述第二壓力傳感器進行診斷。

6.根據權利要求5所述的流體控制裝置，其特征在于，在所述第二壓力傳感器的測量壓力的時間變化率大致為零且測量壓力保持為規定值的情況下，所述診斷部診斷為在所述第二壓力傳感器中未發生零點漂移。

7.根據權利要求5所述的流體控制裝置，其特征在于，在所述閥控制器使所述第一閥打開并使所述第二閥完全關閉的狀態下，所述診斷部基于所述第一壓力傳感器和所述第二壓力傳感器的各測量壓力對所述第一壓力傳感器進行診斷。

8.根據權利要求7所述的流體控制裝置，其特征在于，在所述第一壓力傳感器與所述第二壓力傳感器的各測量壓力大致相等的情況下，所述診斷部診斷為在所述第一壓力傳感器中未發生零點漂移。

9.根據權利要求5所述的流體控制裝置，其特征在于，還包括診斷觸發部，所述診斷觸發部僅在所述閥座泄漏判斷部判斷為在所述第一閥和所述第二閥中未發生閥座泄漏的情況下，使所述診斷部執行所述第一壓力傳感器或所述第二壓力傳感器的診斷。

10.根據權利要求5所述的流體控制裝置，其特征在于，

還包括測量所述第一閥的上游側的壓力的供給壓力傳感器，

在所述閥控制器至少使所述第一閥和所述第二閥打開且設置于所述供給壓力傳感器的上游側的前級閥完全關閉的狀態下，

在所述供給壓力傳感器、所述第一壓力傳感器和所述第二壓力傳感器的各測量壓力大致相等的情況下，所述診斷部診斷為所述供給壓力傳感器、所述第一壓力傳感器和所述第二壓力傳感器分別未發生零點漂移。

11.根據權利要求10所述的流體控制裝置，其特征在于，

在所述閥控制器至少使所述第一閥和所述第二閥完全關閉且所述前級閥打開的狀態下，

在所述第一壓力傳感器或所述第二壓力傳感器的測量壓力上升的情況下，所述閥座泄漏判斷部判斷為所述第一閥發生了閥座泄漏。