[發(fā)明專利]氬尾氣回收凈化方法和系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010165565.0
• 申請日: 2020-03-11
• 公開（公告）號: CN111268658A
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫寧;黃巖巖;李曉雯;黃明群;何輝輝
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州市興魯空分設(shè)備科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: C01B23/00
• 分類號: C01B23/00
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛(wèi)

1.一種氬尾氣回收凈化方法，用于回收凈化含氧、氮、一氧化碳、碳氫化合物的氬尾氣，其特征在于：所述氬尾氣回收凈化方法包括以下步驟：

步驟1：由氬氣使用端收集氬尾氣，去除所述氬尾氣中的固體顆粒物得到初步過濾后的氬尾氣，將所述初步過濾后的氬尾氣加壓到額定壓力得到加壓后的氬尾氣；

步驟2：催化所述加壓后的氬尾氣中的氧、一氧化碳、碳氫化合物，得到催化后的氬尾氣；

步驟3：吸附所述催化后的氬尾氣中的二氧化碳和水，得到吸附后的氬尾氣；

步驟4：脫除所述吸附后的氬尾氣中的部分氮，得到脫氮后的氬尾氣；

步驟5：精餾所述脫氮后的氬尾氣，得到高純氬。

2.一種氬尾氣回收凈化系統(tǒng)，用于回收凈化含氧、氮、一氧化碳、碳氫化合物的氬尾氣，其特征在于：所述氬尾氣回收凈化系統(tǒng)包括氬尾氣收集裝置和氬尾氣凈化精制裝置；

所述氬尾氣收集裝置包括：

過濾單元，所述過濾單元與氬氣使用端相連接，用于去除由氬氣使用端收集的氬尾氣中的固體顆粒物得到初步過濾后的氬尾氣；

加壓單元，所述加壓單元與所述過濾單元相連接，用于將所述初步過濾后的氬尾氣加壓到額定壓力得到加壓后的氬尾氣；

所述氬尾氣凈化精制裝置包括：

催化單元，所述催化單元與所述加壓單元相連接，用于催化所述加壓后的氬尾氣中的氧、一氧化碳、碳氫化合物，得到催化后的氬尾氣；

吸附單元，所述吸附單元與所述催化單元相連接，用于吸附所述催化后的氬尾氣中的二氧化碳和水，得到吸附后的氬尾氣；

脫氮單元，所述脫氮單元與所述吸附單元相連接，用于脫除所述吸附后的氬尾氣中的部分氮，得到脫氮后的氬尾氣；

精餾單元，所述精餾單元與所述脫氮單元相連接，用于精餾所述脫氮后的氬尾氣，得到高純氬。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氬尾氣回收凈化系統(tǒng)，其特征在于：所述過濾單元包括與所述氬氣使用端相連接的過濾器、與所述過濾器相連接的緩沖罐；

所述加壓單元包括與所述緩沖罐相連接的壓縮機、與所述壓縮機相連接的高壓氣體長管。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氬尾氣回收凈化系統(tǒng)，其特征在于：加壓單元一用一備地設(shè)置兩套。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氬尾氣回收凈化系統(tǒng)，其特征在于：所述催化單元包括將所述加壓后的氬尾氣加熱到額定溫度的加熱模塊、與所述加熱模塊相連接的催化爐。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氬尾氣回收凈化系統(tǒng)，其特征在于：所述加熱模塊包括回熱器、與所述回熱器相連接的氬尾氣加熱器，所述催化爐的進氣端與所述氬尾氣加熱器相連接，且所述催化爐的出氣端回連至所述回熱器。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氬尾氣回收凈化系統(tǒng)，其特征在于：所述吸附單元包括將所述催化后的氬尾氣降溫的降溫模塊、與所述降溫模塊相連接的吸附模塊。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氬尾氣回收凈化系統(tǒng)，其特征在于：所述吸附模塊包括兩個交替進行吸附和再生的吸附筒、用于加熱來自空分設(shè)備且通入所述吸附筒中的再生氣的再生氣加熱器。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氬尾氣回收凈化系統(tǒng)，其特征在于：所述脫氮單元包括將所述吸附后的氬尾氣降溫到設(shè)定溫度的換熱器、與所述換熱模塊相連接的脫氮塔。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氬尾氣回收凈化系統(tǒng)，其特征在于：所述精餾單元包括精餾所述脫氮后的氬尾氣得到粗氬氣的空分設(shè)備粗氬塔、精餾所述粗氬氣得到所述高純氬的空分設(shè)備精氬塔。