[發明專利]稀土氧化物基單片式腔室材料在審
| 申請號： | 202010165480.2 | 申請日： | 2014-11-11 |
| 公開（公告）號： | CN111233473A | 公開（公告）日： | 2020-06-05 |
| 發明（設計）人： | J·Y·孫;B·P·卡農戈 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | C04B35/505 | 分類號： | C04B35/505;C04B35/622 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 汪駿飛;侯穎媖 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 稀土 氧化物 單片 式腔室 材料 | ||
1.一種制品，所述制品包含：
固體燒結陶瓷主體，所述固體燒結陶瓷主體包含抗等離子體的陶瓷材料，所述抗等離子體的陶瓷材料包含至少一種固溶體，其中所述至少一種固溶體包括：約60摩爾％至約80摩爾％的Y2O3；0摩爾％以上至約10摩爾％的ZrO2；以及約20摩爾％至約40摩爾％的Al2O3。
2.如權利要求1所述的制品，其特征在于，所述抗等離子體的陶瓷材料進一步包括痕量的SiO2、B2O3、Er2O3、Nd2O3、Nb2O5、CeO2、Sm2O3或Yb2O3中的至少一種。
3.如權利要求1所述的制品，其特征在于，所述至少一種固溶體中的所述ZrO2以1摩爾％至9摩爾％的濃度存在。
4.如權利要求1所述的制品，其特征在于，所述制品包含腔室部件，所述腔室部件選自由以下各項組成的組：靜電夾盤、氣體分配板以及噴淋頭。
5.如權利要求1所述的制品，其特征在于，所述抗等離子體的陶瓷材料具有至少13吉帕斯卡的硬度以及至少200吉帕斯卡的彈性模量。
6.如權利要求1所述的制品，其特征在于，所述制品進一步包括：
粘接至所述固體燒結陶瓷主體的金屬部分。
7.一種制造包含陶瓷主體的固體燒結陶瓷制品的方法，所述方法包含：
產生多種陶瓷粉末的混合物，所述多種陶瓷粉末的混合物包括約60摩爾％至約80摩爾％的Y2O3；0摩爾％以上至約10摩爾％的ZrO2；以及約20摩爾％至約40摩爾％的Al2O3；以及
燒結所述多種陶瓷粉末以形成所述陶瓷主體。
8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述多種陶瓷粉末進一步包括痕量的SiO2、B2O3、Er2O3、Nd2O3、Nb2O5、CeO2、Sm2O3或Yb2O3中的至少一種。
9.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述ZrO2以1摩爾％至9摩爾％的濃度存在。
10.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述固體燒結陶瓷制品包含腔室部件，所述腔室部件選自由以下各項組成的組：靜電夾盤、氣體分配板以及噴淋頭。
11.如權利要求7所述的制品，其特征在于，所述固體燒結陶瓷制品具有至少13吉帕斯卡的硬度以及至少200吉帕斯卡的彈性模量。
12.如權利要求7所述的制品，其特征在于，所述方法進一步包括：
將金屬部分粘接至所述陶瓷主體。
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