[發(fā)明專利]一種快速測(cè)算感光膠基準(zhǔn)曝光能量的工藝方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010163548.3
• 申請(qǐng)日: 2020-03-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111198481B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 成建文;鄢曉姣;劉成武;李逢磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 田菱精密制版(深圳)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G01N21/84
• 代理公司: 深圳市深可信專利代理有限公司 44599
• 代理人: 彭光榮

1.快速測(cè)算感光膠基準(zhǔn)曝光能量的工藝方法，其特征在于：包括以下步驟：

步驟一：涂布感光膠，將感光膠均勻地涂布在曝光網(wǎng)版上；

步驟二：選擇曝光機(jī)和能量計(jì)并設(shè)定曝光參數(shù)；

步驟三：將曝光網(wǎng)版放入曝光機(jī)開(kāi)始曝光；

步驟四：在曝光過(guò)程中同時(shí)記錄光照數(shù)據(jù)，持續(xù)記錄光照度上升過(guò)程中的曝光能量，直至光照度不再上升；

步驟五：計(jì)算感光膠的基準(zhǔn)曝光能量；

進(jìn)行所述步驟二時(shí)，先設(shè)置曝光機(jī)的曝光能量，曝光機(jī)設(shè)置為最大曝光能量；

所述步驟五中計(jì)算感光膠基準(zhǔn)曝光能量的方式為：基準(zhǔn)曝光能量等于設(shè)定能量減去停止曝光前所剩能量，再乘以百分之八十。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述快速測(cè)算感光膠基準(zhǔn)曝光能量的工藝方法，其特征在于：所述步驟一在涂布感光膠之前需要先選擇對(duì)應(yīng)的感光膠曝光版膜厚度以及曝光網(wǎng)紗的顏色與厚度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述快速測(cè)算感光膠基準(zhǔn)曝光能量的工藝方法，其特征在于：所述步驟四中記錄曝光數(shù)據(jù)時(shí)，每10個(gè)能量單位記錄一次光照度。