[發(fā)明專利]電源一體型真空泵

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010162914.3
• 申請(qǐng)日: 2020-03-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111828349B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田中晉悟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所
• 主分類號(hào): F04D19/04
• 分類號(hào): F04D19/04;F04D25/06;F04D29/58;F04D29/08;F04D29/00;H01R13/74
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 薛恒;王琳

本發(fā)明提供一種電源一體型真空泵，其可減少電源部固定時(shí)的配線的夾入。電源一體型渦輪分子泵包括：泵框體(泵座(15)及泵外殼(14))，在內(nèi)部配置泵轉(zhuǎn)子(11)；冷卻套管(202)，固定在泵座(15)的外表面；連接器(40)，將泵側(cè)配線(60)與電源側(cè)配線(61)連接；以及連接器間隔件(41)，固定在泵座(15)的外表面，具有固定連接器(40)的連接器固定面(411)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種電源一體型真空泵。

背景技術(shù)

以前，已知有將泵本體與電源部一體地構(gòu)成的電源一體型渦輪分子泵(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在專利文獻(xiàn)1中記載的電源一體型渦輪分子泵中，將連接泵本體側(cè)的配線的連接器直接固定在泵本體的外表面。電源部側(cè)在大氣壓環(huán)境下，但泵座側(cè)為真空環(huán)境，因此連接器可使用氣密密封連接器。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開(kāi)2018-184874號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問(wèn)題]

在如上所述的電源一體型渦輪分子泵中，當(dāng)將電源部固定在泵本體時(shí)，容易產(chǎn)生如下的不良情況：與已固定在泵本體的連接器連接的電源側(cè)配線的一部分從電源部框體露出，并被夾入泵本體或連接器與電源部框體之間。

[解決問(wèn)題的技術(shù)手段]

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的電源一體型真空泵包括：泵框體，在內(nèi)部配置泵轉(zhuǎn)子；電源框體，固定在所述泵框體的外表面；連接器，將泵框體側(cè)的配線與電源框體側(cè)的配線連接；以及間隔件，固定在所述泵框體的外表面，具有固定所述連接器的連接器固定面。

[發(fā)明的效果]

根據(jù)本發(fā)明，可減少電源部固定時(shí)的配線的夾入。

附圖說(shuō)明

圖1是表示電源一體型渦輪分子泵的概略構(gòu)成的剖面圖。

圖2是泵本體與電源部的連接部的放大圖。

圖3是從泵本體側(cè)觀察電源部的平面圖。

圖4是表示連接器間隔件的平面圖及A-A剖面圖的圖。

圖5是表示將配線焊接在連接器時(shí)的狀態(tài)的圖。

圖6是表示將電源部固定在泵本體時(shí)的狀況的圖，且表示不使用連接器間隔件的情況。

圖7是表示將電源部固定在泵本體時(shí)的狀況的圖，且表示使用連接器間隔件的情況。

圖8是表示變形例的圖。

符號(hào)的說(shuō)明

1：電源一體型渦輪分子泵

10：泵本體

11：泵轉(zhuǎn)子

14：泵外殼

15：泵座

20：電源部

21：隔熱板

40、42：連接器

41：連接器間隔件

60：泵側(cè)配線

61：電源側(cè)配線

62a、62b：真空密封件

201：電源殼

202：冷卻套管

202a：開(kāi)口部

411：連接器固定面