[發明專利]一種薄膜壓電聲波諧振器、濾波器及電子設備

在審

• 申請號: 202010162461.4
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN112039482A
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 黃河;羅海龍;李偉
• 申請（專利權）人: 中芯集成電路（寧波）有限公司
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17;H03H3/02
• 代理公司: 北京思創大成知識產權代理有限公司 11614
• 代理人: 張立君

1.一種薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，包括：從上至下依次疊置的上電極、壓電層和下電極；

在有效諧振區所述上電極、壓電層和下電極依次重疊，且所述有效諧振區在所述壓電層方向上的投影為六邊形；

所述六邊形具有長度最長的第一邊、與所述第一邊相對的第二邊，長度最短的第三邊、與所述第三邊相對的第四邊；

通過所述有效諧振區的第一邊界延伸出所述有效諧振區的上電極定義為上電極引出部，通過所述有效諧振區的第二邊界延伸出所述有效諧振區的下電極定義為下電極引出部；所述第一邊界和所述第二邊界其中之一為為所述第一邊，另一為所述第二邊；

第一外部信號連接端、與所述上電極引出部連接，第二外部信號連接端，與所述下電極引出部連接；

位于第三邊處的第一開口，在有效諧振區外側貫穿所述上電極、壓電層和下電極；

位于第四邊處的第二開口，在有效諧振區外側貫穿所述上電極、壓電層和下電極。

2.如權利要求1所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述壓電層的材料具有晶格結構，所述晶格結構具有六邊形晶面。

3.如權利要求2所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述六邊形晶面的各個內角與六邊形有效諧振區的各個內角基本相同。

4.如權利要求2所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述壓電層的材料具有六方晶格結構。

5.如權利要求4所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述六邊形的最大內角不超過140度，最小內角不小于100度。

6.如權利要求4所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述六邊形的的三組對邊兩兩平行或近似平行，內角均為120度，且相互平行或近似平行的對邊不等長。

7.如權利要求4所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述壓電層的材料包括：氮化鋁，其C軸與壓電層平面近乎垂直。

8.如權利要求7所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述壓電層上下表面保持相對平行，并與所述C軸垂直。

9.如權利要求1所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述六邊形包括至少一對相互平行或近似平行的對邊，相互平行或近似平行的對邊等長或不等長。

10.如權利要求9所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述第一邊和所述第二邊為相互平行或近似平行的對邊。

11.如權利要求10所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述述第一邊和所述第二邊不等長。

12.如權利要求10所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述第二邊為所述六邊形的次長邊。

13.如權利要求9或10所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述第三邊和所述第四邊為相互平行或近似平行的對邊。

14.如權利要求13所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述第四邊為所述六邊形的次短邊。

15.如權利要求1所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述第一邊與所述第三邊相鄰，且所述第一邊的長度與所述第三邊長度的比值大于1.25倍。

16.如權利要求1所述的薄膜壓電聲波諧振器，其特征在于，所述第一開口設置于第三邊的邊長所在處或設置于所述第三邊的夾角所在處；

和/或，所述第二開口設置于第四邊的邊長所在處或設置于所述第四邊的夾角所在處。