[發明專利]拋光裝置

有效

• 申請號: 202010162293.9
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN111251167B
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發明（設計）人: 江偉;尹影;徐俊成;龐浩
• 申請（專利權）人: 北京爍科精微電子裝備有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/20
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 張艷清

1.一種拋光裝置，其特征在于，包括：

支架(1)，所述支架(1)內部設置有容納腔；

吸附裝置(2)，設置在所述容納腔內，適于吸附待拋光產品；

若干組彼此并排設置的滾刷結構(3)，設于所述吸附裝置(2)的上方，并可轉動地連接在所述支架(1)上，適于對所述吸附裝置(2)上的所述待拋光產品進行拋光；

第一驅動裝置(4)，固定連接在所述支架(1)上，并與所述滾刷結構(3)連接，適于驅動所述滾刷結構(3)相對所述支架(1)轉動；

所述滾刷結構(3)包括：

滾刷桿(5)，與所述第一驅動裝置(4)固定連接；

滾刷(6)，套設于所述滾刷桿(5)的外側，所述滾刷(6)的外表面適于與所述待拋光產品接觸；

所述滾刷桿(5)的內部設有中空通道，所述滾刷桿(5)與所述滾刷(6)對應的外表面上設有與所述中空通道連通的噴液孔(7)；

所述滾刷桿(5)的一端與所述第一驅動裝置(4)固定連接，另一端通過所述中空通道適于與液體源連接，使得使用時，液體源能夠向滾刷桿(5)持續地供給液體，使得滾刷(6)能夠保持自然膨化狀態。

2.根據權利要求1所述的拋光裝置，其特征在于，所述滾刷桿(5)的一端與所述第一驅動裝置(4)卡接。

3.根據權利要求1所述的拋光裝置，其特征在于，所述滾刷(6)為柔性的親水材質。

4.根據權利要求1所述的拋光裝置，其特征在于，所述滾刷(6)的外表面上設有多個凸起結構(8)。

5.根據權利要求1所述的拋光裝置，其特征在于，所述第一驅動裝置(4)為電機。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的拋光裝置，其特征在于，所述支架(1)包括：

支架本體(9)；

至少一個安裝架(10)，設于所述滾刷結構(3)的至少一端，所述安裝架(10)與所述支架本體(9)圍成所述容納腔；所述安裝架(10)的一端與所述滾刷結構(3)連接，另一端可轉動地連接在所述支架本體(9)上，并帶動所述滾刷結構(3)在高度方向發生靠近或遠離所述待拋光產品的運動。

7.根據權利要求6所述的拋光裝置，其特征在于，兩個所述安裝架(10)分別設置在每個所述滾刷結構(3)的兩端，所述滾刷結構(3)為兩組。

8.根據權利要求7所述的拋光裝置，其特征在于，還包括：

至少一個滾刷擺動裝置，固定連接在所述支架本體(9)上，并連接在所述安裝架(10)的至少一端，適于帶動所述安裝架(10)相對所述支架本體(9)進行轉動。

9.根據權利要求8所述的拋光裝置，其特征在于，所述滾刷擺動裝置包括：

第一動力裝置(11)；

諧波減速器(12)，輸入端與所述第一動力裝置(11)相連接，所述諧波減速器(12)包括輸出軸；

擺臂結構(13)，一端與所述輸出軸連接，另一端與所述安裝架(10)連接，適于在所述第一動力裝置(11)的驅動下帶動所述安裝架(10)在高度方向發生靠近或遠離所述待拋光產品的運動。

10.根據權利要求9所述的拋光裝置，其特征在于，所述滾刷擺動裝置還包括：

連接裝置(14)，一端與所述輸出軸連接，另一端間隔設有兩個支桿，所述支桿與所述擺臂結構(13)一一固定連接，且兩個所述擺臂結構(13)的擺動方向相反。

11.根據權利要求8所述的拋光裝置，其特征在于，所述滾刷擺動裝置為一個，且每個所述滾刷結構(3)兩側的所述安裝架(10)通過連桿(21)固定連接。