[發明專利]傳感器

有效

• 申請號: 202010160792.4
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN112444273B
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 藤本明;富澤英之;湯澤亞希子;中村直文
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 張潔;段承恩

1.一種傳感器，具備：

基體；

第1可動構造體，其包括多個第1可動電極，所述多個第1可動電極與所述基體之間的沿著第1方向的距離可變，從所述多個第1可動電極中的一個第1可動電極朝向所述多個第1可動電極中的另一個第1可動電極的方向沿著第2方向，所述第1方向是從所述基體朝向所述多個第1可動電極的方向，所述第2方向與所述第1方向交叉；

第1固定構造體，其包括多個第1固定電極，所述多個第1固定電極中的一個第1固定電極位于所述多個第1可動電極中的所述一個第1可動電極與所述多個第1可動電極中的所述另一個第1可動電極之間；

第2可動構造體，其包括多個第2可動電極，所述多個第2可動電極與所述基體之間的距離可變，從所述多個第2可動電極中的一個第2可動電極朝向所述多個第2可動電極中的另一個第2可動電極的方向沿著所述第2方向；以及

第2固定構造體，其包括多個第2固定電極，所述多個第2固定電極中的一個第2固定電極位于所述多個第2可動電極中的所述一個第2可動電極與所述多個第2可動電極中的所述另一個第2可動電極之間，

所述多個第1可動電極中的所述一個第1可動電極的沿著所述第1方向的第1可動電極長度比所述多個第1固定電極中的所述一個第1固定電極的沿著所述第1方向的第1固定電極長度短，

所述多個第2固定電極中的所述一個第2固定電極的沿著所述第1方向的第2固定電極長度比所述多個第2可動電極中的所述一個第2可動電極的沿著所述第1方向的第2可動電極長度短。

2.根據權利要求1所述的傳感器，

所述多個第1固定電極中的所述一個第1固定電極包括第1部分區域和第2部分區域，

所述第1部分區域在所述第2方向上與所述多個第1可動電極中的所述一個第1可動電極重疊，

所述第2部分區域在所述第2方向上不與所述多個第1可動電極中的所述一個第1可動電極重疊，

所述基體與所述第1部分區域之間的沿著所述第1方向的第1距離不同于所述基體與所述第2部分區域之間的沿著所述第1方向的第2距離。

3.根據權利要求1所述的傳感器，

所述第1可動電極長度為所述第1固定電極長度的1/10以上且99/100以下。

4.根據權利要求1所述的傳感器，

所述多個第2可動電極中的所述一個第2可動電極包括第3部分區域和第4部分區域，

所述第3部分區域在所述第2方向上與所述多個第2固定電極中的所述一個第2固定電極重疊，

所述第4部分區域在所述第2方向上不與所述多個第2固定電極中的所述一個第2固定電極重疊，

所述基體與所述第3部分區域之間的沿著所述第1方向的第3距離不同于所述基體與所述第4部分區域之間的沿著所述第1方向的第4距離。

5.根據權利要求4所述的傳感器，

所述第2固定電極長度為所述第2可動電極長度的1/10以上且99/100以下。