[發(fā)明專利]光檢測器、光檢測系統(tǒng)、激光雷達(dá)裝置及車在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010160592.9 | 申請日: | 2020-03-10 |
| 公開(公告)號: | CN112614899A | 公開(公告)日: | 2021-04-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 權(quán)鎬楠;藤原郁夫;佐佐木啟太;鈴木和拓 | 申請(專利權(quán))人: | 株式會社東芝 |
| 主分類號: | H01L31/02 | 分類號: | H01L31/02;H01L23/64;H01L23/62;H01L25/16;H01L31/107;G01S17/08;G01S17/894;G01S7/486;G01S7/4912 |
| 代理公司: | 北京市中咨律師事務(wù)所 11247 | 代理人: | 張軼楠;段承恩 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 檢測器 檢測 系統(tǒng) 激光雷達(dá) 裝置 | ||
提供能夠減少淬滅電阻中的電阻溫度依賴性的光檢測器、光檢測系統(tǒng)、激光雷達(dá)裝置及車。根據(jù)實施方式,光檢測器包括元件及淬滅電阻。所述元件包括光電二極管。所述淬滅電阻與所述元件電連接,并且包括元件、半導(dǎo)體構(gòu)件及互相分離地設(shè)置且與所述半導(dǎo)體構(gòu)件電連接的多個第1金屬構(gòu)件。根據(jù)上述構(gòu)成的光檢測器,能夠減少淬滅電阻中的電阻溫度依賴性。
本申請以日本專利申請2019-168949(申請日2019年9月18日)為基礎(chǔ),根據(jù)該申請而享有優(yōu)先的利益。本申請通過參照該申請而包括該申請的全部內(nèi)容。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明的實施方式一般來說涉及光檢測器、光檢測系統(tǒng)、激光雷達(dá)裝置及車。
背景技術(shù)
存在包括淬滅電阻(quenching resistance)的光檢測器。希望淬滅電阻中的電阻溫度依賴性小。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實施方式提供能夠減少淬滅電阻中的電阻溫度依賴性的光檢測器、光檢測系統(tǒng)、激光雷達(dá)裝置及車。
根據(jù)本發(fā)明的實施方式,光檢測器包括元件及淬滅電阻。所述元件包括光電二極管。所述淬滅電阻與所述元件電連接,并且包括元件、半導(dǎo)體構(gòu)件及多個第1金屬構(gòu)件,所述多個第1金屬構(gòu)件互相分離地設(shè)置且與所述半導(dǎo)體構(gòu)件電連接。
根據(jù)上述構(gòu)成的光檢測器,能夠減少淬滅電阻中的電阻溫度依賴性。
附圖說明
圖1是例示第1實施方式的光檢測器的示意性俯視圖。
圖2是圖1的II-II剖視圖。
圖3是圖1的III-III剖視圖。
圖4是例示第1實施方式的變形例的光檢測器的示意性俯視圖。
圖5是例示第2實施方式的光檢測器的示意性俯視圖。
圖6是圖5的V-V剖視圖。
圖7是例示第3實施方式的光檢測器的示意性俯視圖。
圖8是將圖7的部分VIII放大的俯視圖。
圖9是例示第4實施方式的光檢測器的示意性俯視圖。
圖10是圖9的X-X剖視圖。
圖11是例示第5實施方式的光檢測器的示意性俯視圖。
圖12是將圖11的部分XII放大的俯視圖。
圖13是例示第6實施方式的光檢測器的示意性俯視圖。
圖14是圖13的XIV-XIV剖視圖。
圖15是圖14的XV-XV剖視圖。
圖16是例示第7實施方式的光檢測器的示意性俯視圖。
圖17是圖16的XVII-XVII剖視圖。
圖18是圖16的XVIII-XVIII剖視圖。
圖19是例示第8實施方式的激光雷達(dá)裝置的示意圖。
圖20是用于說明激光雷達(dá)裝置的檢測對象的檢測的圖。
圖21是具備第8實施方式的激光雷達(dá)裝置的車的俯視概略圖。
標(biāo)號說明
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





