[發明專利]一種納米纖維素基高分辨率光刻膠用成膜樹脂的制備方法在審
| 申請號： | 202010160572.1 | 申請日： | 2020-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN111363051A | 公開（公告）日： | 2020-07-03 |
| 發明（設計）人： | 張勇;胡輝馮;張秀梅;姚菊明 | 申請（專利權）人： | 浙江理工大學 |
| 主分類號： | C08B15/06 | 分類號： | C08B15/06;G03F7/004 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100 | 代理人： | 沈錫明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 納米 纖維素 高分辨率 光刻 膠用成膜 樹脂 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種納米纖維素基高分辨率光刻膠用成膜樹脂的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)將1g納米纖維素溶于40mL N,N-二甲基甲酰胺中，攪拌形成納米纖維素懸濁液；
2)將一定量的四甲氨基吡啶溶于步驟1)得到的納米纖維素懸濁液中，攪拌形成四甲氨基吡啶和納米纖維素混合懸濁液；
3)將步驟2)得到的四甲氨基吡啶和納米纖維素混合懸濁液加熱至120℃，緩慢加入一定量的二碳酸二叔丁酯，在1000r/min恒溫反應5h，得到棕黃色懸濁液；
4)使用無水乙醇洗滌沉淀步驟3)得到的棕黃色懸濁液，得到沉淀物；
5)將步驟4)得到的沉淀物在12000r/min、25℃無水乙醇洗滌、離心4次，得到米黃色漿狀物；
6)將步驟5)得到的米黃色漿狀物在30℃真空干燥24h，得到米黃色干燥粉末，即納米纖維素基高分辨率光刻膠用成膜樹脂。
2.根據權利要求1所述的一種納米纖維素基高分辨率光刻膠用成膜樹脂的制備方法，其特征在于：所述步驟2中的四甲氨基吡啶用量為0.5-1.5g。
3.根據權利要求1所述的一種納米纖維素基高分辨率光刻膠用成膜樹脂的制備方法，其特征在于：所述步驟3中的二碳酸二叔丁酯用量為1-3g。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于浙江理工大學，未經浙江理工大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010160572.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
