[發明專利]垂直式探針頭及其雙臂式探針

在審

• 申請號: 202010160327.0
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN113376413A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 李文聰;謝開杰
• 申請（專利權）人: 中華精測科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;閆華

1.一種垂直式探針頭，其特征在于，所述垂直式探針頭包括：

一第一導板，形成有多個第一穿孔；

一第二導板，與所述第一導板呈間隔地設置，并且所述第二導板形成有位置分別對應于多個所述第一穿孔的多個第二穿孔，而每個所述第一穿孔的尺寸大于相對應所述第二穿孔的尺寸；以及

多個雙臂式探針，分別穿設于所述上導板的多個所述第一穿孔、并分別穿設于所述下導板的多個所述第二穿孔；其中，每個所述雙臂式探針包含有：

一傳輸針體，包含有穿設于相對應所述第一穿孔的一針測段、穿設于相對應所述第二穿孔的一固定段及連接所述針測段與所述固定段的一行程段；及

一延伸臂體，自鄰近所述行程段的所述固定段邊緣延伸至所述針測段的旁邊所形成；其中，所述延伸臂體的一自由端部形成有一扣持結構，所述扣持結構扣持于相對應所述第一穿孔的孔壁、并與所述傳輸針體的所述針測段之間留有一間距；

其中，每個所述雙臂式探針的所述延伸臂體能夠相對于所述傳輸針體的所述針測段擺動，以使得當每個所述雙臂式探針在植入相對應的所述第一穿孔時，所述扣持結構能通過朝所述針測段位移而進入相對應所述第一穿孔、并以一預定壓力扣持于相對應所述第一穿孔的所述孔壁。

2.依據權利要求1所述的垂直式探針頭，其特征在于，于每個所述雙臂式探針中，所述扣持結構包含有一抵接部、連接于所述抵接部遠離所述固定段一端的一限位部及連接于所述抵接部鄰近所述固定段一端的一導引部；當每個所述雙臂式探針在植入相對應的所述第一穿孔時，所述第一導板頂抵于所述導引部以迫使所述扣持結構朝所述針測段位移，而令相對應所述第一穿孔的所述孔壁進入所述抵接部、所述限位部及所述導引部所共同包圍構成的一凹槽內。

3.依據權利要求1所述的垂直式探針頭，其特征在于，于每個所述雙臂式探針中，所述行程段包含有朝向所述延伸臂體延伸的一彈力段，并且所述彈力段與所述延伸臂體之間留有一間距。

4.依據權利要求3所述的垂直式探針頭，其特征在于，于每個所述雙臂式探針中，所述扣持結構與所述針測段之間的所述間距小于所述彈力段與所述延伸臂體之間的所述間距，以使得當所述針測段頂抵于一待測物時，所述彈力段能朝向所述延伸臂體變形，并且所述針測段朝向所述扣持結構位移且保持壓抵于所述扣持結構。

5.依據權利要求4所述的垂直式探針頭，其特征在于，所述垂直式探針頭進一步包含有設置于所述第一導板的一導電線路，并且所述導電線路延伸至一個所述第一穿孔的所述孔壁，而相對應所述扣持結構在所述針測段頂抵于所述待測物時，其通過所述針測段的壓抵而抵接于位于所述第一穿孔的所述孔壁上的所述導電線路。

6.依據權利要求3所述的垂直式探針頭，其特征在于，于每個所述雙臂式探針中，所述扣持結構在平行所述針測段的一方向上至少局部重疊于所述彈力段。

7.依據權利要求1所述的垂直式探針頭，其特征在于，所述垂直式探針頭進一步包含有設置于所述第一導板的一導電線路，并且所述導電線路延伸至一個所述第一穿孔的所述孔壁，而相對應所述扣持結構以所述預定壓力抵接于位于所述第一穿孔的所述孔壁上的所述導電線路。

8.依據權利要求1所述的垂直式探針頭，其特征在于，所述垂直式探針頭包含有夾持于所述第一導板與所述第二導板之間的一間隔板，所述第一導板與所述第二導板彼此不相互錯位設置且各為單個板體，并且所述垂直式探針頭不包含所述第一導板與所述第二導板以外的任何導板。

9.一種垂直式探針頭的雙臂式探針，其特征在于，所述垂直式探針頭的雙臂式探針包括：

一傳輸針體，包含有一針測段、一固定段及連接所述針測段與所述固定段的一行程段；以及

一延伸臂體，自鄰近所述行程段的所述固定段邊緣延伸至所述針測段的旁邊所形成；其中，所述延伸臂體的一自由端部形成有一扣持結構，并且所述扣持結構與所述傳輸針體的所述針測段之間留有一間距；

其中，所述雙臂式探針的所述延伸臂體能夠相對于所述傳輸針體的所述針測段擺動，以使得所述扣持結構能朝所述針測段位移。

10.依據權利要求9所述的垂直式探針頭的雙臂式探針，其特征在于，所述行程段包含有朝向所述延伸臂體延伸的一彈力段，并且所述彈力段與所述延伸臂體之間留有一間距；所述扣持結構與所述針測段之間的所述間距小于所述彈力段與所述延伸臂體之間的所述間距，并且所述扣持結構在平行所述針測段的一方向上至少局部重疊于所述彈力段。