[發(fā)明專利]可增強(qiáng)發(fā)射譜線強(qiáng)度的磁控濺射空心陰極燈有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010160324.7 | 申請日： | 2020-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN111293032B | 公開（公告）日： | 2022-12-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張碩;姚子偉 | 申請（專利權(quán)）人： | 國家海洋環(huán)境監(jiān)測中心 |
| 主分類號： | H01J61/067 | 分類號： | H01J61/067;H01J61/09;H01J61/16 |
| 代理公司： | 大連非凡專利事務(wù)所 21220 | 代理人： | 閃紅霞 |
| 地址： | 116000 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 增強(qiáng) 發(fā)射 強(qiáng)度 磁控濺射 空心 陰極 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種可增強(qiáng)發(fā)射譜線強(qiáng)度的磁控濺射空心陰極燈，有燈管（1），在燈管（1）內(nèi)設(shè)有筒狀空心陰極（2）、環(huán)形陽極（3）及惰性氣體（4），其特征在于：所述環(huán)形陽極（3）的內(nèi)徑大于筒狀空心陰極（2），所述燈管（1）內(nèi)部有至少20mT的恒定磁場（5），所述恒定磁場（5）N極與S極的垂直連線與筒狀空心陰極（2）的軸線平行。
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