[發明專利]封裝固體高純金屬有機化合物的容器及其應用

在審

• 申請號: 202010157978.4
• 申請日: 2020-03-09
• 公開（公告）號: CN111172513A
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 陳化冰;茅炳榮;蔡巖馨;陸平;江偉;朱熠;杜培文;沈斌
• 申請（專利權）人: 江蘇南大光電材料股份有限公司
• 主分類號: C23C16/30
• 分類號: C23C16/30;C23C16/455
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 王玉國

1.封裝固體高純金屬有機化合物的容器，包括瓶體(11)、進氣管(7)以及出氣管(10)，其特征在于：所述瓶體(11)內設置有燒結片(13)，將內腔分隔為上腔以及下腔，上腔的容積大于下腔的容積；瓶體頂部(8)具有加料口(6)，加料口(6)與上腔連通；進氣管(7)進入到上腔與其連通，其進氣口(9)具有用于對載氣氣流導向的氣流導向結構；出氣管(10)進入到下腔與其連通。

2.根據權利要求1所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：所述氣流導向結構為一用以將氣流導向瓶體頂部(8)的向上彎曲部，或者為一用以將氣流導向瓶體內側壁的向內側壁偏折部，或者為一水平彎曲部，或者為一設置于進氣口(9)下方的擋板。

3.根據權利要求2所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：向上彎曲部的出口方向與進氣管(7)的載氣氣流進入流向呈一夾角，夾角角度為90°～180°，與向上彎曲部的出口正對的瓶體頂部(8)的底面區域為平面、曲面、或者平面與曲面結合的形狀。

4.根據權利要求2所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：向內側壁偏折部的出口方向與進氣管(7)的載氣氣流進入流向呈一夾角，夾角角度為45°～90°。

5.根據權利要求2所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：水平彎曲部為沿著內側壁的弧形管，弧形管的末端設置出口，或者弧形管上分散設置出口，出口朝向瓶體頂部(8)，與出口正對的瓶體頂部(8)的底面區域為平面、曲面、或者平面與曲面結合的形狀。

6.根據權利要求2所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：于進氣口(9)下方的0～3cm處設置一擋板，擋板為平面形狀、向上曲面形狀或者向下曲面形狀。

7.根據權利要求1所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：上腔與下腔的容積比不小于10:1。

8.根據權利要求7所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：上腔與下腔的容積比為10:1～20:1。

9.根據權利要求1所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：上腔的底部形狀為矩形、圓錐形或多邊形。

10.根據權利要求1所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：燒結片(13)的濾網孔徑為5～200μm。

11.根據權利要求10所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：燒結片(13)的濾網孔徑為10～80μm。

12.根據權利要求1所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：下腔的結構呈矩形、圓錐形或多邊形。

13.根據權利要求1所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器，其特征在于：瓶體(11)具有裙邊結構的底座，可置于恒溫水浴槽中。

14.權利要求1所述的封裝固體高純金屬有機化合物的容器應用于金屬有機化學氣象沉積過程，其特征在于：包括以下步驟：

①從加料口(6)加入固體金屬有機化合物，加完后用堵帽(14)封住加料口(6)；

②通過進氣管(7)和出氣管(10)將封裝容器接入金屬有機化學氣象沉積過程中所使用的載氣氣路當中；

③將封裝容器置于恒溫水浴槽中，調節水浴溫度至設定溫度并保持溫度的穩定性，確保封裝容器內固體金屬有機化合物的蒸氣壓穩定；

④打開進氣管(7)上的進氣閥(3)和出氣管(10)上的出氣閥(4)，使固體金屬有機化合物的蒸氣隨載氣流入氣相沉積系統，生長半導體薄膜材料。