[發明專利]柔性顯示基板剝離裝置及柔性顯示基板剝離方法

在審

• 申請號: 202010157802.9
• 申請日: 2020-03-09
• 公開（公告）號: CN111341716A
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 張莉
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;G09F9/30
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 唐秀萍

1.一種柔性顯示基板剝離裝置，剝離吸附在硬質基板上的所述柔性顯示基板，其特征在于，包括：

承載基臺，一側表面開設有多個通孔；

真空模組，設置于所述承載基臺下方，與多個所述通孔連接；

其中，所述承載基臺的一側表面為曲面，使所述柔性顯示基板沿著所述曲面從所述承載基臺上剝離。

2.根據權利要求1所述的柔性顯示基板剝離裝置，其特征在于，還包括激光發生器，設置于所述承載基臺的側面。

3.根據權利要求1所述的柔性顯示基板剝離裝置，其特征在于，還包括軟性吸附板，所述軟性吸附板設置于所述承載基臺的上方。

4.根據權利要求3所述的柔性顯示基板剝離裝置，其特征在于，還包括滑軌，所述軟性吸附板設置于所述滑軌上。

5.根據權利要求3所述的柔性顯示基板剝離裝置，其特征在于，所述軟性吸附板的材料為聚酰亞胺、滌綸樹脂、聚碳酸酯或三醋酸纖維中的至少一種。

6.根據權利要求1所述的柔性顯示基板剝離裝置，其特征在于，所述承載基臺一側表面的曲率大于100mm。

7.根據權利要求1所述的柔性顯示基板剝離裝置，其特征在于，所述承載基臺的曲面為向上凸起的圓弧面。

8.根據權利要求1所述的柔性顯示基板剝離裝置，其特征在于，所述承載基板的曲面為向下凹陷的圓弧面。

9.一種柔性顯示基板的剝離方法，其特征在于，包括：

用軟性吸附板吸附在所述待剝離基板一側表面；

將所述待剝離基板放置于具有曲面的承載基臺上；

啟動所述承載基臺下方的真空模組，所述承載基臺吸附所述待剝離基板的另一側表面；

對軟性吸附板施加拉力，剝離得到所述柔性顯示基板。

10.根據權利要求9所述柔性顯示基板的剝離方法，其特征在于，還包括將待剝離基板放置于激光發生器上方進行照射，所述待剝離基板包括硬質基板和柔性顯示基板，所述激光發生器從所述硬質基板一側照射。