[發(fā)明專利]一種智能化穩(wěn)定熱場(chǎng)單晶硅提純?cè)O(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010154370.6
• 申請(qǐng)日: 2020-03-07
• 公開（公告）號(hào): CN111218719A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚仿英
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 姚仿英
• 主分類號(hào): C30B30/04
• 分類號(hào): C30B30/04;C30B29/06;C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種智能化穩(wěn)定熱場(chǎng)單晶硅提純?cè)O(shè)備，包括外殼(1)，所述外殼(1)的底部固定安裝有底部軸桿(101)，所述外殼(1)頂部的一側(cè)固定安裝有進(jìn)料管(105)，其特征在于：所述底部軸桿(101)的頂部固定安裝有位于外殼(1)內(nèi)腔的導(dǎo)溫容器(102)，所述導(dǎo)溫容器(102)的外部套裝有加熱器(103)，所述導(dǎo)溫容器(102)的內(nèi)部填充有石英沙層(109)，所述石英沙層(109)頂面的中部放置有石英坩堝(108)，所述石英坩堝(108)的外部通過穩(wěn)定圈(5)卡接有石英坩鍋(107)，所述石英坩鍋(107)的正面安裝有觀測(cè)屏(4)，所述外殼(1)的頂部固定安裝有拉伸組件(104)，所述拉伸組件(104)的底部安裝有籽晶桿(106)，所述籽晶桿(106)的底部延伸至石英坩鍋(107)的內(nèi)部，所述石英坩鍋(107)的外部固定套裝有耐高溫磁性金屬(3)，所述外殼(1)的頂部固定安裝有若干個(gè)磁力組件(2)，若干個(gè)所述磁力組件(2)形成一個(gè)圓環(huán)狀，所述磁力組件(2)包括智能轉(zhuǎn)軸(21)，所述智能轉(zhuǎn)軸(21)的內(nèi)表面通過轉(zhuǎn)桿(23)活動(dòng)安裝有連接件(22)，所述連接件(22)的另一端固定安裝有磁力套(24)，所述磁力套(24)的內(nèi)部固定安裝有電磁鐵(25)，所述智能轉(zhuǎn)軸(21)、電磁鐵(25)和加熱器(103)的輸入端電性連接有中央控制器(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能化穩(wěn)定熱場(chǎng)單晶硅提純?cè)O(shè)備，其特征在于：所述磁力組件(2)遠(yuǎn)離外殼(1)的外部的磁極與耐高溫磁性金屬(3)外表面的磁極相異。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能化穩(wěn)定熱場(chǎng)單晶硅提純?cè)O(shè)備，其特征在于：所述磁力組件(2)與外殼(1)內(nèi)壁的活動(dòng)角度為二十度至一百三十度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種智能化穩(wěn)定熱場(chǎng)單晶硅提純?cè)O(shè)備，其特征在于：所述加熱器(103)處于加熱狀態(tài)時(shí)，所述磁力組件(2)與外殼(1)內(nèi)壁的活動(dòng)角度呈銳角。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能化穩(wěn)定熱場(chǎng)單晶硅提純?cè)O(shè)備，其特征在于：所述加熱器(103)呈電阻絲狀，且電阻絲纏繞在導(dǎo)溫容器(102)的外部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能化穩(wěn)定熱場(chǎng)單晶硅提純?cè)O(shè)備，其特征在于：所述穩(wěn)定圈(5)有兩個(gè)組裝環(huán)構(gòu)成，且兩個(gè)組裝環(huán)的頂部一體形成有與石英坩鍋(107)底部相適配的固定塊。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能化穩(wěn)定熱場(chǎng)單晶硅提純?cè)O(shè)備，其特征在于：所述智能轉(zhuǎn)軸(21)的輸出端與連接件(22)的輸入端電性連接。