[發明專利]一種金黑圖形化的方法有效
| 申請號： | 202010153880.1 | 申請日： | 2020-03-05 |
| 公開（公告）號： | CN111392689B | 公開（公告）日： | 2022-09-20 |
| 發明（設計）人： | 張金英;李德芳;李卓;王欣;楊蘇輝;郝燕 | 申請（專利權）人： | 北京理工大學 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京正陽理工知識產權代理事務所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 鄔曉楠 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 圖形 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種金黑圖形化的方法，其特征在于：在清潔干凈的襯底上濺射一層金黑薄膜；再在金黑薄膜上旋涂聚酰亞胺溶液后，置于烘箱中烘干并自然降至室溫；在聚酰亞胺薄膜層上制備光刻膠層；使用紫外曝光、顯影工藝制作出光刻膠掩膜層；去除未被光刻膠覆蓋的區域；刻蝕結束后，去除光刻膠，完成金黑圖形化工藝；
所述聚酰亞胺參數為：黏度低于500cp,固含量低于20%；
所述旋涂工藝參數為：預旋涂500～900r/min，旋涂30～60s；正式旋涂2000～5000r/min，旋涂時間100～300s；
所述烘干工藝參數為：60～80度加熱30～60分鐘，100～120度加熱30～60分鐘，自然降溫至室溫；
所述濺射工藝參數為：99.99%純金靶材，基底真空低于1×10-4Pa，氮氣流量60～90sccm，氬氣流量60～90sccm，壓強50～100Pa，功率90～200W，濺射時間：20～100 min。
2.如權利要求1所述的一種金黑圖形化的方法，其特征在于：所述刻蝕參數：氧氣流量為10～50sccm，六氟化硫流量為10～50sccm，壓強5～15Pa,功率為150～250W，刻蝕時間5～25min。
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