[發明專利]雙面減薄研削水流量的控制方法有效
| 申請號： | 202010152622.1 | 申請日： | 2020-03-06 |
| 公開（公告）號： | CN111360608B | 公開（公告）日： | 2021-08-27 |
| 發明（設計）人： | 陳建銘;盧健平 | 申請（專利權）人： | 徐州鑫晶半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | B24B7/17 | 分類號： | B24B7/17;B24B27/00;B24B41/04;B24B55/02;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 肖陽 |
| 地址： | 221004 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 雙面 減薄研削 水流 控制 方法 | ||
1.一種雙面減薄研削水流量的控制方法，其特征在于，采用雙面減薄裝置包括砂輪、進擊軸和供水機臺，所述進擊軸上設置進水口，所述控制方法包括：
S001：按照所述雙面減薄裝置的操作規程，做好研磨前的準備工作，加工工件安裝調試完畢；
S002：在雙面減薄過程中，設定所述進水口的流量隨著所述砂輪上砂輪齒長度的減小而減小，并且所述進水口的流量與所述砂輪齒長度呈線性關系；
其中，所述砂輪齒長度與所述進水口的流量的函數關系為：
其中，
Q為單側進水口水流量，單位為L/min，
K為砂輪齒長度最長時的最低設定水量，單位為L/min，
P為砂輪齒長度最短時的最低設定水量，單位為L/min，
Xm為砂輪齒最大長度數值，單位為mm，
X為砂輪齒長度數值，單位為mm。
2.根據權利要求1所述的研削水流量的控制方法，其特征在于，所述砂輪齒長度與所述進水口的流量的函數關系為：
K數值與D、Xm、C相關，P數值與D、Xn、C相關，
其中，D為砂輪齒間距，單位為mm，
Xn為砂輪齒最小長度數值，單位為mm，
C為砂輪齒的本身材料及結構來決定的常數。
3.根據權利要求2所述的研削水流量的控制方法，其特征在于，
所述砂輪齒長度與所述進水口的流量的函數關系為：
其中K數值正比于D*Xm*C，P數值正比于D*Xn*C。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的研削水流量的控制方法，其特征在于，所述砂輪齒長度X為0.1-6mm。
5.根據權利要求2所述的研削水流量的控制方法，其特征在于，所述砂輪齒間隔分布，并且相鄰兩個所述砂輪齒間距D為0.5-2mm。
6.根據權利要求1所述的研削水流量的控制方法，其特征在于，所述水流量的控制方法，還包括：
S003：加工工件在研磨過程中，長度測量機構實時地監測所述砂輪齒長度，并將所述砂輪齒長度X傳輸到控制器上。
7.根據權利要求6所述的研削水流量的控制方法，其特征在于，所述水流量的控制方法，還包括：
S004：水量控制機構接收到所述控制器反饋，實時地調整水流量Q。
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