[發明專利]一種基于表面等離激元增強的金屬氧化物氣體傳感器

有效

• 申請號: 202010150034.4
• 申請日: 2020-03-06
• 公開（公告）號: CN111272825B
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 劉黎明;遲鋒;易子川;王紅航;楊健君
• 申請（專利權）人: 電子科技大學中山學院
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 重慶萃智邦成專利代理事務所(普通合伙) 50231
• 代理人: 舒夢來

1.一種基于表面等離激元增強的金屬氧化物氣體傳感器，其特征在于： 包括基底層（1），所述基底層（1）的上方設置有叉指電極層（2），所述叉指電極層（2）的上方設置有金屬氧化物層（3）,所述金屬氧化物層（3） 的上方設置有貴金屬顆粒（4），所述貴金屬顆粒（4）的上方還設置有金屬氧化物顆粒（6），所述貴金屬顆粒（4）之間的間隙（5）內設置有第二金屬氧化物顆粒（7）；所述金屬氧化物顆粒（6）與貴金屬顆粒（4）之間設置有還原氧化石墨烯層（8），所述還原氧化石墨烯層（8）覆蓋整個所述貴金屬顆粒（4）構成的層，所述貴金屬顆粒（4）通過光激發出強烈的電子振蕩，在貴金屬顆粒（4）附近形成強電場。

2.如權利要求 1 所述的一種基于表面等離激元增強的金屬氧化物氣體傳感器，其特征在于：所述貴金屬顆粒（4）為球形。

3.如權利要求 2 所述的一種基于表面等離激元增強的金屬氧化物氣體傳感器，其特征在于：所述貴金屬顆粒（4）的半徑為 20nm～100 nm。

4.如權利要求 1 所述的一種基于表面等離激元增強的金屬氧化物氣體傳感器，其特征在于：所述叉指電極層（2）的叉指為長方體。

5.如權利要求 4 所述的一種基于表面等離激元增強的金屬氧化物氣體傳感器，其特征在于：所述叉指電極層（2）的叉指的間距為 20nm～100nm， 叉指的寬度為 20nm～100nm，所述叉指電極層（2）的厚度為 100nm～1000nm。

6.如權利要求 4 所述的一種基于表面等離激元增強的金屬氧化物氣體傳感器，其特征在于：所述叉指電極層（2）是由金或銀制成。

7.如權利要求 1 所述的一種基于表面等離激元增強的金屬氧化物氣體傳感器，其特征在于：所述金屬氧化物層（3）是氧化鐵（Fe₂O₃）、氧化銅（CuO）、氧化鋅（ZnO）、四氧化三鈷（Co₃O₄）、氧化鎳（NiO）中的一種或多種組成。

8.如權利要求 7 所述的一種基于表面等離激元增強的金屬氧化物氣體傳感器，其特征在于：所述貴金屬顆粒（4）是由金或銀制成。